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TMC STACIS iX SEM-Base主動氣浮光學平臺
Guardian™ 主動隔振平臺
Guardian™ 主動隔振平臺特征
主動隔振技術實現(xiàn)超低頻隔振
Guardian 工作站包括兩個主動隔振模塊,每個主動隔振模塊包含 3 個傳感器和 3 個促動器,可主動感測和補償六個實時自由度中的振動。它不僅消除了無源系統(tǒng)固有的共振響應,而且還提供高達 34 dB(50 次)的額外隔振。隔振從低至 0.5 Hz 開始,在 1.5 Hz 時達到 20 dB(10 次)。它不僅大大優(yōu)于無源彈簧系統(tǒng),而且還可超越的氣浮工作站。
Guardian 典型的穩(wěn)定時間
Guardian 可以減少直接作用于平臺的干擾所引起的平臺反應,而無源系統(tǒng)和一些有源系統(tǒng)只能通過隔離器減少來自地板的振動。曲線圖中所示的測試結(jié)果說明了這一點。曲線圖表示由短(約 0.01 s)三角形脈沖引起的加速度和由靠近面包板角落(離邊緣 6 英寸)的儀表錘創(chuàng)建并由附近加速度計測量的大約 1.5 lbs. 大力的時間歷程。干擾之后的穩(wěn)定時間,對于主動控制是可忽略的,而對單獨作用的被動隔振則以秒計時。
強大的控制能力
Guardian&trade
強大的被動隔振與簡易調(diào)平機制
Guardian 技術的一個特殊功能是它將強大的有源模塊與 Newport 的專li VIBe&trade
集成框架具有的剛性
Guardian&trade
模態(tài)阻尼臺面的大化精度
除了主動和被動隔振,良好的阻尼工作表面減少了從上到下的共振,這對任何高精度應用都非常有幫助。Guardian&trade
輕松安裝和維護
Guardian 工作站采用特殊設計的包裝,允許用戶將系統(tǒng)簡單地推入實驗室。每個部件(包括臺面)都預先安裝在框架上。
多功能框架,便于配件安裝
可在框架上的不同安裝位置,將可選的支撐防護裝置 和其他配件添加到 Guardian 工作站。
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