清潔度無塵室 返回列表頁

      清潔度無塵室不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 

  清潔度無塵室較主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

   每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的*。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于*，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

  清潔度無塵室的整體規(guī)劃布局：

  風(fēng)淋室、傳遞穿、可視玻璃窗

  凈化結(jié)構(gòu)部分、凈化系統(tǒng)部分、配電系統(tǒng)

  各個功能區(qū)域的劃分，例如：清洗制樣區(qū)域、顆粒分析區(qū)域、文件存放區(qū)域等

     清潔度無塵室滿足ISO14644-2015、GB50073-2001等標(biāo)準(zhǔn)要求

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