CDG045Dhs高速電容膜片真空計  的詳細介紹

INFICON Stripe 高速電容膜片真空計是現(xiàn)有速度zui快的高精度真空測量儀器。反應時間不到 1 毫秒，配備 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口，開放了全新的應用領(lǐng)域。經(jīng)驗證的溫度控制、防腐蝕超純陶瓷傳感器可*提供的滿量程穩(wěn)定性和的零點穩(wěn)定性。 Stripe 采用 INFICON 獲得的*傳感器屏蔽，可保護真空計在使用過程中產(chǎn)生不需要的附帶結(jié)果。 INFICON Stripe 使用創(chuàng)新的加熱概念，提供冰涼的接觸表面和*的速度性能，確保了*的生產(chǎn)力提升，使其成為同類產(chǎn)品中的真空儀器。

益處

• 高生產(chǎn)力 - 反應時間快于 1 毫秒
• 靈活集成 - EtherCAT 現(xiàn)場總線
• 使用壽命長 - 經(jīng)驗證的陶瓷傳感器
• 忘記重新校準 - 90ppm/年*穩(wěn)定性

典型應用

• 原子層沉積
• 高速過程控制
• PVD、CVD、刻蝕
• 一般高溫真空應用