Edge CDG045D2 電容膜片真空計  的詳細介紹

INFICON Edge 電容膜片真空計屬于高精準真空測量儀器，專為苛刻的生產(chǎn)環(huán)境而設計。經(jīng)驗證的溫度控制、防腐蝕超純陶瓷傳感器可*提供的滿量程穩(wěn)定性和的零點穩(wěn)定性。Edge 采用 INFICON 獲得的*傳感器屏蔽，可保護真空計在使用過程中產(chǎn)生不需要的附帶結果。*的電子設備為所有應用提供各種可配置的信號條件以及可選的 EtherCAT 現(xiàn)場總線接口。創(chuàng)新的加熱概念確保了冰涼的接觸表面并節(jié)省了寶貴的工具空間。 INFICON Edge 是同類產(chǎn)品中體積zui小的真空測量儀器。
 

益處

• 設計緊湊，節(jié)省寶貴的工具空間
• 易于集成，EtherCAT，各種滿刻度和法蘭，標配兩個設定點
• 輕松一鍵調(diào)零或遠程信號調(diào)零指令，可調(diào)零點偏移
• 診斷端口用于快速維修和維護
• 兩年保修服務，*的加熱概念和真空計保護延長了使用壽命
• 的信號穩(wěn)定性和可重復性，即使是zui苛刻的等離子應用，都無需*執(zhí)行重新校準
• 合規(guī)性與標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

• 用于 CVD、刻蝕、PVD 和其他半導體制造過程