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       經過低溫等離子凈化后，廢氣尚含有部分小分子的物質及臭氧，采用水洗工藝可以對污染物進行進一步處理，同時減少廢氣中臭氧含量，因此在此過程中，部分小分子有機物可進一步被羥基自由基氧化而予以去除。

去除污染物的基本過程：

過程一：高能電子的直接轟擊；

過程二：O原子或臭氧的氧化:O2+e→2O-；

過程三：OH自由基的氧化: H2O+e→OH+H  H2O+O→2OH  H+O2→OH+O；

過程四：分子碎片+氧氣的反應。

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等離子有機廢氣凈化器工作原理是采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉化成各種活性粒子，與空氣中的O2結合生成H2O、CO2等低分子無害物質，使廢氣得到凈化。

在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應室時，氣體被均勻分配到等離子反應室(PRC)。反應室分成149根六邊形管子，每根管子的有一根冠狀電線，與反應室獨立隔開。通過高壓線對反應室導通可調節(jié)高壓，高壓導通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產生放電現象。

一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產生化學性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。