產(chǎn)品簡介
NX20型原子力顯微鏡是韓國PARK原子力顯微鏡公司功能很強大的工業(yè)級大尺寸原子力顯微鏡,這是一款全自動的原子力顯微鏡系統(tǒng),掃描范圍達300mm*300mm,掃描分辨率0.02nm,集成了PARK公司技術(shù)“非接觸式工作模式"“智能掃描模式"“基于壓電陶瓷堆積技術(shù)的平板掃描器",并標(biāo)配快速掃描模式,變速掃描模式,多種測量模式可選,NX20型原子力顯微鏡被廣泛用于半導(dǎo)體,LCD,LED,OLED,硬盤等工業(yè)領(lǐng)域。
產(chǎn)品技術(shù)特色
(1)采用非接觸式工作模式:PARK公司是目前一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家,在不影響測量精度的前提下,可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量,避免了由于針尖磨損帶來測量重復(fù)性差與探針磨損快的缺點。
下圖是測量CrN樣品的實例,CrN樣品的硬度很高,具有三角形結(jié)構(gòu),采用非接觸模式測量100幅圖后,圖像質(zhì)量幾乎無變化,針尖幾乎無磨損?。?!
(2)探測器噪聲水平為業(yè)界:0.02nm。Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術(shù)改進之一,它是Park的新型應(yīng)變傳感器,憑借著0.2埃的超低噪聲,它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲的Z軸探測器,檢測原子臺階及其容易。
(3)采用高性能平板掃描器:采用技術(shù)得三軸分離的平板掃描器,在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差<1nm !!!!
(4)操作極其簡單:
- 具有“智能掃描模式"Smart scan:這是PARK公司的技術(shù)之一,用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍,系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋,無需尋找共振峰,無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值
- 具有中文,英文等多種操作界面
- 憑借著我們的預(yù)準(zhǔn)直懸臂架,懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且,自上而下的同軸視角(行業(yè)無二)讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上,您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕,將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣,您可以在激光準(zhǔn)直界面中,輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時,您只需要稍作調(diào)整實現(xiàn)信號的,便可開始獲取數(shù)據(jù)。
(5)具有非常廣泛的原子力顯微鏡模式:
(6)工業(yè)級別的XEA軟件:具有自動識別,自動掃描,自動分析功能,大大節(jié)約了人工操作的誤差及浪費的時間。
(7)導(dǎo)電原子力顯微鏡:
Park導(dǎo)電原子力顯微鏡在市場中競爭力很強,不但有著全行業(yè)的電流噪聲,且增益范圍也是,并且可實現(xiàn)電流快速掃描功能,是半導(dǎo)體測試電流的標(biāo)準(zhǔn)。
- 業(yè)內(nèi)的電流噪聲(50fA)
- 業(yè)內(nèi)的電流(10mA)
主要技術(shù)參數(shù)
- XY閉環(huán)掃描范圍大:達100μm*100μm
- Z向閉環(huán)掃描范圍大:達15μm
- 超高的測量分辨率:可達0.02nm
- 全自動掃描范圍:150mm*150mm(200mm*200mm,300mm*300mm)
- 具有快速掃描功能:達50Hz
部分測試實例
PARK公司科研級原子力顯微鏡選型指南:
- XE7型原子力顯微鏡:低預(yù)算客戶的理想選擇
- NX10型原子力顯微鏡:科研級客戶及工業(yè)檢測實驗室的
- NX-Hivac真空型原子力顯微鏡:高分辨及保障無氧無水環(huán)境
- NX12型生物型原子力顯微鏡:神經(jīng)學(xué),生物細胞檢測及藥物檢測,單細胞通道客戶的理想選擇
- XE15型大樣品原子力顯微鏡:大尺寸樣品及工業(yè)檢測實驗室的
- NX20型大樣品原子力顯微鏡:大尺寸樣品,工業(yè)檢測實驗室及在線檢測的
- 工業(yè)級原子力顯微鏡歡迎來電詳細咨詢!
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