- 品牌: 西格瑪光機
- 商品名稱: 中型步進電機小角度旋轉(zhuǎn)臺HDS-YAW
- 商品編號: XZ-16 HDS-YAW
- 概要介紹: 中型步進電機小角度旋轉(zhuǎn)臺HDS-YAW
高耐久型自動轉(zhuǎn)動平臺 HDS-YAW
適用于硅片的打標(biāo)等的微小角度調(diào)整用自動平臺。
?特別適用于微小角度的自動調(diào)整。
?驅(qū)動機構(gòu)為絲杠，磨損和間隙小，耐久性好。
?絲杠帶動鋼帶，將直線運動轉(zhuǎn)換為轉(zhuǎn)動，即使位置不同，其傳動比也不變。
| n 信息 ?轉(zhuǎn)動范圍
| n 注意 ?請水平設(shè)置使用HDS系列。上下倒置或側(cè)面安裝時，難以保證樣本上所示技術(shù)指標(biāo)。如希望非常規(guī)使用的話，歡迎來信咨詢。 |
| 技術(shù)指標(biāo) | |||||
| 型號 | HDS-60YAW | HDS-80YAW | HDS-120YAW | ||
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機械 技術(shù)指標(biāo) | 轉(zhuǎn)動范圍 | ±5° | ±5° | ±6° | |
| 臺面尺寸〔mm〕 | φ60 | φ80 | φ120 | ||
| 驅(qū)動機構(gòu) | 滾珠絲杠＋鋼帶 | 滾珠絲杠＋鋼帶 | 滾珠絲杠＋鋼帶 | ||
| 導(dǎo)軌形式 | 滾動軸承 | 滾動軸承 | 十字交叉滾柱 | ||
| 主要材料 | 鋁合金 | 鋁合金 | 鋁合金 | ||
| 表面處理 | 黑色氧化 | 黑色氧化 | 黑色氧化 | ||
| 自重〔kg〕 | 0.5 | 0.9 | 1.4 | ||
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精度 技術(shù)指標(biāo) | 分辨率 | （整步）〔°/脈沖〕 | ≒0.0053 | ≒0.0038 | ≒0.0022 |
| （半步）〔°/脈沖〕 | ≒0.0027 | ≒0.0019 | ≒0.0011 | ||
| 速度〔°/sec〕 | 60 | 60 | 60 | ||
| 定位精度〔°〕 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | ||
| 重復(fù)定位精度〔°〕 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | ||
| 承載能力〔N〕 | 29.4（3.0kgf） | 58.8（3.0kgf） | 98（10kgf） | ||
| 扭矩剛度〔″/N·cm〕 | 1 | 0.2 | 0.1 | ||
| 空行程〔°〕 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | ||
| 傳動副間隙〔°〕 | 0.05 | 0.05 | 0.05 | ||
| 平行度〔μm〕 | 50 | 50 | 50 | ||
| 同心度〔μm〕 | 10 | 10 | 10 | ||
| 臺面跳動量〔mm〕 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | ||
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傳感器 | 傳感器型號 | 微型光電傳感器：GP1S097HCZ（夏普（株）） | |||
| 極限位置傳感器 | 有（常閉） | 有（常閉） | 有（常閉） | ||
| 原點傳感器 | 有（常開） | 有（常開） | 有（常開） | ||
| 近接原點傳感器 | 無 | 無 | 無 | ||
| 電機／傳感器技術(shù)指標(biāo) | |||
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電機 | 類型 | 5相步進電機 0.75A/相 （多摩川精機（株）） | 5相步進電機 0.75A/相（ORIENTAL MOTOR（株）） |
| 型號 | TS3664N4E10（□24mm） | PK523HPB-C12（□28mm） | |
| 步距角 | 0.72° | ||
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傳感器 | 電源電壓 | DC5?24V±10% | |
| 消耗電流 | 60mA以下（單個傳感器20mA以下） | ||
| 輸出端電氣特性 | NPN集電極開路輸出 DC30V以下50mA以下 | ||
| 信號的含義 | 遮光時：輸出晶體管OFF（截止）：極限位置傳感器 遮光時：輸出晶體管ON（導(dǎo)通）：原點傳感器 | ||
| 推薦選用的驅(qū)動器／控制器型號 | ||
| 電器系統(tǒng) | 驅(qū)動器 | SG-5M，SG-5MA，MC-S0514ZU，SG-514MSC，MC-7514PCL |
| 控制器 | GSC-01，GIP-101，GSC-02，SHOT-702，HSC-103，SHOT-302GS，SHOT-304GS，HIT-M·HIT-S，PGC-04-U | |
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