D07-19BM氣體質(zhì)量流量計,氮氣硫化氫氣體質(zhì)量流量控制器
簡介：
氣體質(zhì)量流量計適用于對氣體質(zhì)量進行精密測量。它將測量的氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換為相應的標準狀態(tài)下的氣體體積流量或標準狀態(tài)下的氣體質(zhì)量流量。
氣體質(zhì)量流量計具有低功耗、精度高、壽命長、重復性好、流量量程寬、穩(wěn)定可靠等特點。用測試氣體質(zhì)量的方法對氣體進行流量測量，目前在國內(nèi)處于地位。
D07-19BM氣體質(zhì)量流量計,氮氣硫化氫氣體質(zhì)量流量控制器主要特點：
★高精度，快響應型
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★采用DB15型電插頭，標準機械接頭
★兼容
用 途:
質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
標 準:
氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標定。標準狀態(tài)規(guī)定為：
標準溫度………………0℃(273.15K)
標準壓強………………101325Pa
輸入和輸出:
輸入電源………………+15V,50mA;-15V,200mA
輸入設定電壓…………0～+5.00V
輸出電壓檢測…………0～+5.00V
,氮氣硫化氫氣體質(zhì)量流量控制器技術參數(shù)：
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM～30SLM | |
控制范圍 | 2～100％F.S. | |
閥類型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) | |
準確度 | ≤10SLM | ±1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
線性 | ≤10SLM | ±0.5～1％F.S. |
＞10SLM | ±2％F.S. | |
重復精度 | ±0.2％F.S. | |
響應時間 | ≤4sec | |
工作溫度范圍 | 5～45℃ | |
工作壓差 | ≤10SLM | 0.1～0.5MPa |
＞10SLM | 0.1～0.3MPa | |
耐壓 | 3MPa | |
漏氣率 | 1×10-9SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡膠、聚四氟乙烯、氯丁橡膠 | |
接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ6hose |
Swagelok | 1/8”、1/4”或φ3、φ6mm | |
電插頭形式 | DB15 pin(Male) | |
抗電磁干擾 | CE | |
重量 | 0.95Kg | |
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