1.同時實現(xiàn)真空、潔凈、無氧和高溫組合運行環(huán)境潔凈度100級（FED-STD-209E）+高溫≤230°C+真空度50K Par  
2.整體不銹鋼設(shè)計,內(nèi)膽及層板架采用的均為SUS304不銹鋼材料 
3.采用進口免維護低噪音風(fēng)機及高效HEPA 
4.多級軟硬件報警和保護功能 
5.內(nèi)容積330L或可按要求定制 
6.采用5”觸摸液晶顯示屏，設(shè)定及監(jiān)控簡便 
7.可實現(xiàn)參數(shù)及數(shù)據(jù)的處理、顯示、記錄等功能 
8.PLC控制模塊，手動定制，自動和程序等運行模式 
 真空烘箱產(chǎn)品主要應(yīng)用：
•砷化鎵半導(dǎo)體器件封裝烘烤工藝 
•微型傳感器的封裝工藝 
•MEMS的封裝工藝研發(fā) 
•LED等器件封裝工藝和材料無塵防氧化烘烤