•該潔凈烘箱標配氮流量控制(手動/程序),氧量濃度實時監(jiān)控等功能,(PPM級氧量濃度采集系統(tǒng)可選),有效預防高溫造成的氧化反應。
•采用美國原裝品牌超高溫高效過濾器。風阻小,凈化效率高,無硅油。內部潔凈度10~10K級(FS209E)可選
•德國品牌離心風機使用壽命長,低噪音,高靜壓
•水平層流的結構特點降低了開關門時外界對干燥箱內部潔凈度的影響
•*的風道,降低高效過濾器帶來的風阻影響,減少高效過濾器進風口的高溫積聚
•溫度變化快;出回幾的均勻性保證了潔凈程度的均勻性
•5寸彩色可編程控制器
•多重溫度保護,確保設備及被試產品的安全
•*穩(wěn)定工作在250℃/400℃(可選)
•內膽SS-304不銹鋼,外殼鋼板靜電消散型中噴涂可選(Rosh認證,兼容無塵間環(huán)境)
潔凈烘箱主要應用:
•半導體的導電膠固化工藝
•半導體晶圓退火工藝
•其他工藝應用
控氧潔凈烘箱是CBI研制的一種高效、穩(wěn)定、安全的潔凈烘烤箱。
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