FE-1050系列場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。
● 在電子光學(xué)鏡筒的加持下，展現(xiàn)低電壓、高分辨。
● 27個(gè)端口拓展、大艙室，輕松應(yīng)對(duì)各類成像、分析需求。
● 簡(jiǎn)化操作、自動(dòng)化交互、智能化特征識(shí)別統(tǒng)計(jì)，提高工作效率。
技術(shù)規(guī)格：
| 型號(hào) | FE-1050系列 | ||||
| 1.電子光學(xué)系統(tǒng) | |||||
| 電子qiang | Schottky 場(chǎng)發(fā)射型 | ||||
| 物鏡類型 | 非浸沒電磁復(fù)合透鏡 | ||||
| 加速電壓 | 0.02-30KV | ||||
| 束斑電流 | 10pA 至 30nA（100nA 選配） | ||||
| 放大倍數(shù) | 10x - 1,000, 000x | ||||
| 分辨率 | SE | 1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV) | |||
| BSE(選配) | 2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV) | ||||
| STEM | 0.8nm（30KV） | ||||
| 2.真空系統(tǒng) | |||||
| 離子泵（IGP） | 25 L/s+2X20L/s | ||||
| 渦輪分子泵（TMP） | 250 L/s (N2) | ||||
| 前級(jí)真空泵 | 15m³/h 機(jī)械泵、無油渦旋機(jī)械泵（選配） | ||||
| 電子qiang真空 | <1.0x10-7 Pa | ||||
| 主樣品室真空 | <1.0x10-4 Pa | ||||
| 樣品室接口數(shù) | 27 個(gè) | ||||
| 預(yù)抽室 | 50mm 樣品托盤自動(dòng)送樣 4/6 英寸晶圓自動(dòng)送樣（選配） | ||||
| 預(yù)抽室光學(xué)導(dǎo)航 | |||||
| 3.樣品運(yùn)動(dòng)平臺(tái) | |||||
| 樣品臺(tái)行程 | X | 140mm | |||
| Y | 140mm | ||||
| Z | 60mm | ||||
| R | 連續(xù) 360° | ||||
| T | -10°~80° | ||||
| 重復(fù)定位精度 | X/Y/Z≤1um（選配） | ||||
| 樣品承重 | 5kg | ||||
| 4.圖像處理系統(tǒng) | |||||
| 駐留時(shí)間 | 20ns | ||||
| 采集方式 | 4 通道同步采集 | ||||
| 圖像分辨率 | 24kx24k 像素 | ||||
| 5.數(shù)據(jù)處理系統(tǒng) | |||||
| CPU | Intel Xeon E5 及以上處理器 | ||||
| 內(nèi)存 | 32G | ||||
| 顯卡 | 顯存≥24G，位寬≥384bit | ||||
| 顯示器 | 34 英寸超寬屏顯示器 | ||||
| 控制臺(tái) | 人體工程學(xué)可升降操控臺(tái) | ||||
| 6.探測(cè)器系統(tǒng) | |||||
| 檢測(cè)器 | In-Column SE 探測(cè)器 ET- SE 探測(cè)器 插入式 BSE 探測(cè)器（選配） STEM 探測(cè)器（選配） 紅外 CCD 主腔室監(jiān)控-3 路 | ||||
| 附件（選配） | 斜插式能譜儀（EDS） 平插式能譜儀（Flat-EDS） 波譜儀（WDS） 電子背散射衍射儀（EBSD） 熒光探測(cè)器（CL） 聚焦離子束（FIB） 原位拉伸加熱臺(tái)/制冷臺(tái) 冷凍轉(zhuǎn)移樣品倉(cāng)等第三方附件設(shè)備 | ||||
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