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ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100,DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號DKJ-310

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地西安市

更新時間:2022-04-03 23:30:01瀏覽次數(shù):15次

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靶臺和靶距離可調(diào)節(jié),濺射基片可進(jìn)行控溫加熱; 濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié),可研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響 ;ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100,DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

裝置采用同軸二極濺射結(jié)構(gòu),靶臺和靶距離可調(diào)節(jié),濺射基片可進(jìn)行控溫加熱;

濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié),可研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響

;反應(yīng)腔體采用石英玻璃管,可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象;工作氣體可調(diào)節(jié)更換,

并可多路氣體混合工作。可以完成光學(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測量、金

屬薄膜的制備等實驗。

主要實驗內(nèi)容:

◆光學(xué)薄膜材料的制備及其光學(xué)特性的測量;

◆金屬薄膜的制備實驗;ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100,DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

◆理解直流濺射原理,掌握直流濺射薄膜材料的工藝方法。

主要技術(shù)特點:ZHG-1600電動執(zhí)行器ZSKQ-5100,DHPS系列直流濺射等離子體實驗裝置

◆濺射靶臺和濺射靶距離可調(diào)節(jié),研究在不同距離時對薄膜濺射的影響;

◆濺射基片可進(jìn)行加熱,加熱溫度可控,研究基片溫度對薄膜濺射的影響;

◆濺射氣壓、濺射氣源流量可調(diào)節(jié),研究不同氣壓、氣源流量對薄膜濺射的影響

◆反應(yīng)腔體采用石英玻璃管,可直觀地觀察到濺射現(xiàn)象;

◆供電電源:AC 220V50 Hz。高斯計特斯拉計

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長春ZHG-600電動執(zhí)行器D

1、電壓仿真:0~5V DC 電壓測量:0~10V

昆明ZKJ-5200精小型單座

基本誤差:±1.0% $r$n回 差:1

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Ø 開關(guān)量輸入阻抗:$r

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