精密損耗精度
除了高速、高精度、高剛性、低發(fā)熱性和高可靠性，還實現(xiàn)了精密損耗精度
- 研磨主軸：20nm/SPAM
- 工作主軸：5nm/SPAM (*1)
(*1) 通過“單點異步誤差運動"方法測量
考慮生態(tài)環(huán)境
高精度空氣靜力軸承主軸配有多孔限流器，可實現(xiàn)穩(wěn)定化和精致的加工表面，多孔限流器大大減少了空氣消耗，本公司根據(jù)慣例實現(xiàn)了 1/6 比率的空氣消耗量，因此，有利于節(jié)能減排。
高可重復性，高加工效率
超低摩擦力導軌整合了本公司的原創(chuàng)高研磨技術(shù)和精選高精度軋輥，對納米范圍進給速率響應度高，消除了逆向進給的延遲。該導軌系統(tǒng)的剛性和穩(wěn)定性高于靜液壓/空氣靜力軸承導軌，但精度能保持相似。
考慮生態(tài)環(huán)境和空間節(jié)省
沒有靜態(tài)導軌常見的流體溫度波動，確保了穩(wěn)定的精度，同時無需使用液壓裝置之類的設備，即節(jié)省空間又節(jié)省能源。
優(yōu)化的設計
在考慮性價比的前提下，針對每種機器類型和軸優(yōu)化設計了滾珠螺桿驅(qū)動系統(tǒng)和線性馬達驅(qū)動系統(tǒng)。
考慮高精致加工
通過采用滾珠螺桿驅(qū)動系統(tǒng)，我們開發(fā)并利用的耦合器，解決了滾珠螺桿旋轉(zhuǎn)所造成的常見應力和振蕩問題。
| 型號 | ULC- | |
| 直線行程 | X 軸 (mm) | 300 |
| Y 軸 (mm) | 25 | |
| Z 軸 (mm) | 150 | |
| 編程 | 1 | |
|
| X、Z：500 | |
| 工作主軸 | 旋轉(zhuǎn)速度 | 0-1500 |
| 真空吸盤 | π100 | |
| C 軸功能 | - | |
| 研磨主軸速度 (min-1) | - | |
| B 軸車削 | 進給速率 | - |
| 編程 | - | |
| 軸結(jié)構(gòu)，括號 () 中的軸是配件。 | X 軸，Y 軸，Z 軸 | |
| 可選配件 | 噴霧冷卻劑供應裝置、 | |
| 型號 | ULG- 100E(HY) | ULG- 100D(HYS) | ULG- 100D(HYB) | |
|---|---|---|---|---|
| 直線行程 軸 | X 軸 (mm) | 220 | 300 | 300 |
| Y 軸 (mm) | 20 | 25 | 25 | |
| Z 軸 (mm) | 150 | 150 | 150 | |
| 編程 分辨率 (nm) | 1 | |||
進給速率 (mm/min) | X、Z：500 Y： 300 | |||
| 工作主軸 | 旋轉(zhuǎn)速度 (min-1) | 0-1500 | ||
| 真空吸盤 直徑 (mm) | π100 | |||
| C 軸功能 | 配件 | 標配 | ||
| 研磨主軸速度 (min-1) | 5000-40000 | 10000- 60000 | ||
| B 軸車削 工作臺 | 進給速率 （度/分鐘） | - | 0-1080 | |
| 編程 分辨率（度） | - | 0.0001 | ||
| 軸結(jié)構(gòu)，括號 () 中的軸是配件。 | X 軸，Y 軸，Z 軸 (C 軸) | X 軸、Y 軸、Z 軸、B 軸、C 軸 | ||
| 可選配件 | 冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、 對稱非球面表面加工軟件、 非對稱非球面表面加工軟件 (*1) 和 PC、 集霧器等 | |||
(*1) ULG-100A(HY) 和 ULG-100D(HYS) 不提供非對稱非球面表面加工軟件。
| 型號 | ULG- 100D(H3) | ULG- 100D(5A) | |
|---|---|---|---|
| 直線行程 軸 | X 軸 (mm) | 300 | 450 |
| Y 軸 (mm) | 100 | 100 | |
| Z 軸 (mm) | 150 | 150 | |
| 編程 分辨率 (nm) | 1 | ||
進給速率 (mm/min) | X 軸，Y 軸，Z 軸： 500 | ||
| 工作主軸 | 旋轉(zhuǎn)速度 (min-1) | 0-1500 | |
| 真空吸盤 直徑 (mm) | π100 | ||
| C 軸功能 | 標配 | ||
| 研磨主軸速度 (min-1) | 5000- 40000 | 10000- 60000 | |
| B 軸車削 工作臺 | 進給速率 （度/分鐘） | - | |
| 編程 分辨率（度） | - | ||
| 軸結(jié)構(gòu)，括號 () 中的軸是配件。 | X 軸、Y 軸、Z 軸、C 軸 | X 軸、Y 軸、Z 軸、B 軸、C 軸 | |
| 可選配件 | 冷卻劑供應裝置、噴霧冷卻劑供應裝置、刀具架、 對稱非球面表面加工軟件、 非對稱非球面表面加工軟件和 PC、 集霧器等 | ||
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