詳情介紹：
1200℃管式爐技術(shù)參數(shù)：
| 供電電壓 | AC220V，50Hz |
| *大功率 | 4KW |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū) 440mm |
| 工作溫度 | ≤1200℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線，可存儲多條 |
| 爐管材質(zhì) | 高純石英 |
| 爐管尺寸 | φ80mm I.D x 1000mm L |
| 密封方式 | 不銹鋼真空法蘭 |
| 真空測量 | 機(jī)械式壓力表 |
| 工作氣體 | 氫氣、氮?dú)?、氬氣、氧氣等非腐蝕性氣體 |
三路質(zhì)量流量計參數(shù)：
| 閥門類型 | 不銹鋼針閥 |
| 氣路數(shù)量 | 三路 |
| 承壓范圍 | 0.05~0.3MPa |
| 量程 | 0~100 SCCM (H2) 0~200 SCCM（Ar） 0~500 SCCM（CH4） |
| 流量控制范圍 | ±1.5% |
| 混氣罐容積 | 750mL |
| 氣路材料 | 304不銹鋼 |
| 管道接口 | 6.35mm卡套接頭 |
| 供電電源 | AC220V 50Hz |
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