真空噴霧熱解涂膜機(jī)包含一個(gè)軟件，用于噴頭移動(dòng)和分配速率的自動(dòng)化。 由步進(jìn)電機(jī)控制的正排量泵用于根據(jù)需要分配溶液。 噴頭在基板上噴射精細(xì)的霧化溶液，其運(yùn)動(dòng)由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的線性平臺(tái)在X和Y方向控制，以確保均勻涂層。 可以通過(guò)改變噴嘴處的壓縮氣體壓力來(lái)調(diào)節(jié)噴霧模式和速度。
噴霧熱解是通過(guò)在加熱的表面上噴射溶液來(lái)沉積薄膜的過(guò)程，其中組分反應(yīng)形成化合物。該方法對(duì)于氧化物的沉積特別有用，并且長(zhǎng)期以來(lái)一直是將氧化錫（SnO2）或氧化錫的透明導(dǎo)電體施加到玻璃基板上的制造方法?，F(xiàn)在，這種技術(shù)越來(lái)越多地用于制備鈣鈦礦薄膜，例如鈣鈦礦太陽(yáng)能電池。
真空噴霧熱解涂膜機(jī)技術(shù)參數(shù)：
| 電源輸入 | ? 單相208 - 240 VAC, 50/60 Hz ? 驅(qū)動(dòng)器:步進(jìn)電機(jī), 24 VDC |
| 腔室大小 | SS304腔室提供700mm×700mm×800mm的工作空間 |
| 滴涂器 | ? 分配單位容量：50 mL和250 mL（包括兩個(gè)容器）容器 ? 容器分配速率：1-10 mL / min可通過(guò)軟件調(diào)節(jié) ? 注射泵分配速率：20μL/ min - 10 mL / min 可通過(guò)軟件調(diào)節(jié)
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| 噴霧器
| ? 包括三個(gè)壓縮氣體噴頭以實(shí)現(xiàn)多層薄膜涂層 ? 每個(gè)噴頭可用于噴射不同類型的溶液。腔室內(nèi)的遮蔽盤（翻蓋擋板）可以使用旋鈕/杠桿從外部移動(dòng)，用于防止基板在噴頭轉(zhuǎn)換期間暴露于液滴。 ? 產(chǎn)生平均尺寸為50微米的精細(xì)噴霧 ? 流體粘度范圍：1 - 50 mPa·s（cP） ? 噴涂機(jī)橫移：X - Y 200 mm max ? 驅(qū)動(dòng)速度X軸：10-800 mm / sec ? 驅(qū)動(dòng)速度Y軸：1-12 mm / sec |
| 壓力調(diào)節(jié)器和壓力表
 | ? 帶有數(shù)字壓力表的壓力調(diào)節(jié)器安裝在機(jī)器上，用于準(zhǔn)確的氣壓控制。 ? 氣體輔助噴霧水溶液的推薦壓力：~3 psi |
| 真空泵
 | ? 包含帶排氣過(guò)濾器的156 L / m雙級(jí)旋片式真空泵 ? 正?；A(chǔ)壓力范圍500~600 milibar ? 真空泵安裝在底柜中 |
| 熔錫槽加熱器 | ? 尺寸：150 mm × 150 mm ? Max溫度：500℃ |
| 軟件
 | ? 系統(tǒng)控制器盒通過(guò)RS232端口和USB適配器連接到筆記本電腦或Surface Pro。 ? 集中軟件控制分配率，X-Y平臺(tái)移動(dòng)，溶液加載和排放。 ? 所有過(guò)程參數(shù)都可以保存為用戶過(guò)程，稍后檢索以進(jìn)行分析或重新運(yùn)行。 ? 包括一臺(tái)全新的筆記本電腦或一臺(tái)帶預(yù)裝軟件的Microsoft Surface Pro。 |
| 保修 | 終身支持一年有限保修（購(gòu)買前可演示） |
| 認(rèn)證 | CE認(rèn)證 |
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