無(wú)氧化烘箱|イナートオーブン|Inert Gas Ovens
適用范圍:
適用于半導(dǎo)體、光電元件、能原材料、通訊產(chǎn)品、機(jī)電產(chǎn)品等作無(wú)氧化干燥、固化、焊接、退火等高溫處理。
封裝測(cè)試；所有的Lead PKG、BGA、MCM；光刻工藝有機(jī)聚合物膜預(yù)固化、堅(jiān)膜；銀漿固化、模后固化、電鍍退火；基板除潮、晶圓干燥退火等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、密封 性設(shè)計(jì)：內(nèi)材質(zhì)用SUS304不銹鋼板,整個(gè)內(nèi)桶用氬弧焊滿焊,防止空氣進(jìn)入烘箱內(nèi)，同時(shí)節(jié)省惰性氣體；
2、外部防塵處理：外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過(guò)蘇打水清洗后粉體烤漆處理；
3、節(jié) 能：保溫材質(zhì)為高密度纖維棉，保溫效果好；
4、分層結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：內(nèi)箱層板高低可調(diào)，可自由取出；
5、移動(dòng) 自由：箱體有活動(dòng)腳輪，可任意推動(dòng)和固定位置；
6、高效過(guò)濾器：安裝耐高溫高效過(guò)濾器，獲得潔凈的烘烤環(huán)境；（選配）
7、內(nèi)循環(huán)風(fēng)設(shè)計(jì)：強(qiáng)制送風(fēng)內(nèi)循環(huán)，確保溫度均勻；
8、氮?dú)忸A(yù)熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)；
9、冷 系 統(tǒng)：配備冷卻系統(tǒng)，可減少等待時(shí)間，提高效率；（選配）
10、寬泛的溫度范圍選擇；
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) 規(guī)格參數(shù) | HOC- WYH81 (A3~D) | HOC- WYH180 (A3~D) | HOC- WYH409 (A3~D) | HOC-WYH1361 (A3~D) | ||||||||
| 內(nèi)箱尺寸(W*D*H)mm | 350*580*400 | 600*600*500 | 640*640*1000 | 990*1100*1250 | ||||||||
| 工作腔數(shù)量 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | 2 雙腔 | 4 四腔 | 1 單腔 | 1 單腔 | 2 雙腔 | |||
| 外型尺寸(W*D*H)mm | 以實(shí)物為準(zhǔn)(溫度不同外箱尺寸不同) | |||||||||||
| 工作溫度范圍 | A3:室溫～200℃ A2:室溫～250℃ B2:室溫～350℃ C2:室溫～450℃ D:室溫～600℃ | |||||||||||
| 氧含量 | I：500ppm； II：200ppm； III：50ppm Ⅳ：20ppm | |||||||||||
| 機(jī)器性能 | 控制精度 | 0.1℃ | ||||||||||
| 分布均勻度 | ±2.0℃% | |||||||||||
| 升溫 時(shí)間 | ℃ | 175 | 250 | |||||||||
| min | 30 | 40 | ||||||||||
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材質(zhì) | 外部材質(zhì) | SPCC鋼板粉體烤漆處理 | ||||||||||
| 內(nèi)部材質(zhì) | SUS﹟304不銹鋼數(shù)控折彎成型 | |||||||||||
| 隔熱材質(zhì) | 陶瓷纖維棉 | |||||||||||
| 密封材料 | 采用耐高溫硅橡膠 | |||||||||||
| 循環(huán)系統(tǒng) | 多翼式循環(huán)風(fēng)扇 | |||||||||||
| 氮?dú)庋b置 | 流量計(jì)大小可調(diào)(L/min) | |||||||||||
| 加熱器 | 不銹鋼高速加熱器 | |||||||||||
| 計(jì)時(shí)器 | 0.1S～9999H | |||||||||||
| 溫控器 | 普通標(biāo)準(zhǔn)型/觸摸屏PLC程序控制型 | |||||||||||
| 其它配件 | 隔層置物架（不銹鋼沖孔盤2片） | |||||||||||
| 安全裝置 | 電路系統(tǒng)負(fù)載保護(hù)，風(fēng)機(jī)過(guò)載保護(hù)，溫到計(jì)時(shí)時(shí)到斷加熱，故障警示燈 | |||||||||||
| 選配件 | ①多點(diǎn)測(cè)溫查看及記錄功能；②氧含量分析儀；⑥聯(lián)網(wǎng)功能；⑦HEPA高效過(guò)濾器；⑧快速降溫系統(tǒng) | |||||||||||
| 電源（V） | 220 | AC 3相5線380V 50HZ | ||||||||||
| 注：1、以上數(shù)據(jù)均在環(huán)境溫度（QT）25℃.工作室無(wú)負(fù)載條件下測(cè)得 | ||||||||||||
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