1.1 簡介

采用工業(yè)相機(jī)配合視覺軟件實(shí)現(xiàn)MICRALIGN 400,500,600,700系列光刻機(jī)的自動(dòng)對(duì)位。改造后自動(dòng)控制系統(tǒng)與機(jī)臺(tái)原有操控系統(tǒng)兼容，可自由切換。系統(tǒng)可接入車間生產(chǎn)管理平臺(tái)，自動(dòng)下載工藝參數(shù)，上傳機(jī)臺(tái)動(dòng)作數(shù)據(jù)。改造方便，性價(jià)比高。

1.2功能特點(diǎn)

1)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)獲取圖像，按照設(shè)定條件進(jìn)行十字標(biāo)識(shí)的位置獲取；

2)系統(tǒng)發(fā)出控制脈沖，模擬人手操作調(diào)節(jié)控制片平臺(tái)或版平臺(tái)移動(dòng)；

3)對(duì)位精度在1um以內(nèi)，20S內(nèi)完成自動(dòng)對(duì)位過程；

4)模擬曝光鍵、微調(diào)鍵功能；

5)人工調(diào)節(jié)操縱桿對(duì)位和自動(dòng)視像對(duì)位功能切換；

6)實(shí)現(xiàn)智能自動(dòng)對(duì)位規(guī)則、數(shù)據(jù)、圖片截圖保存；

7)記錄自動(dòng)曝光片數(shù)、花籃位置、光刻版統(tǒng)計(jì)、樣片提醒功能；

8)可以根據(jù)設(shè)定的曝光片數(shù)加工，數(shù)量到達(dá)后發(fā)出報(bào)警并自動(dòng)切換到人工對(duì)位。人工曝光完成后，再自動(dòng)切換回自動(dòng)對(duì)位曝光。

9)支持掃碼槍掃碼輸入，自動(dòng)定位視像存儲(chǔ)和查詢，數(shù)據(jù)可上傳到MES系統(tǒng)，可以讀取MES系統(tǒng)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)錄單和光刻版號(hào)和批號(hào)的對(duì)比功能，識(shí)別加工設(shè)備、光刻版管理功能。

10)模擬設(shè)備上數(shù)字小鍵盤功能。（實(shí)現(xiàn)設(shè)定曝光量，調(diào)節(jié)機(jī)偏功能）。

11)報(bào)警功能：25S內(nèi)無法完成對(duì)位報(bào)警提示，大于75分貝語音提醒。

12)具有分級(jí)管理權(quán)限，使用界面和維修、工藝、程序界面隔離。

13)具有緊急停止中斷功能，具備緊急按鈕。

14)更換品種后對(duì)準(zhǔn)識(shí)別圖形自動(dòng)更換。

15)加工批次連接MES，建立文件夾自動(dòng)儲(chǔ)存批次光刻版信息等加工信息以EXCEL文件保存，方便查詢。

16）實(shí)現(xiàn)250的機(jī)偏調(diào)整功能。

17）具備標(biāo)識(shí)圖形和對(duì)準(zhǔn)圖形的對(duì)準(zhǔn)中心識(shí)別功能。