HTRS-1000型高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀
HTRS-1000型高溫半導(dǎo)體材料電阻率測試儀主要用于半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的評估和測試,該系統(tǒng)采用四線電阻法測量原理進(jìn)行設(shè)計開發(fā),可以在高溫、真空氣氛的條件下測量半導(dǎo)體材料電阻和電阻率,可以分析被測樣品電阻和電阻率隨溫度、時間變化的曲線。目前主要針對圓片、方塊、長條等測試樣品進(jìn)行測試,可以廣泛用于半導(dǎo)體材料硅(si)、鍺(ge),化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵(GaAs)、銻化銦(InSb),三元化合物半導(dǎo)體GaAsAl、GaAsP,固溶體半導(dǎo)體,如Ge-Si、GaAs-GaP等的塊體材料的電阻率測量等材料的電阻率測量。
一、產(chǎn)品特點(diǎn)
1、設(shè)備集成度高,一體化設(shè)計,精密測量。
2、1000度的高溫爐膛,耐高溫、抗氧化的測試夾具,測量精準(zhǔn)無誤
3、鉑銥合金材料測試探頭,抗氧化,經(jīng)久耐用。
4、控溫精度達(dá)到±0.5℃,溫度、時間曲線直觀
5、常溫、高溫、真空、流動氣氛等多種試驗(yàn)環(huán)境
6、各種樣品均可測試:單樣品塊體測量夾具,針對圓片、方塊、長條等樣品
7、自動保壓,防止擊穿
二、主要技術(shù)參數(shù):
溫度范圍:RT-1000℃
升溫斜率:0-10℃/min (典型值:3℃/min)
控溫精度:±0.1℃
電阻測量范圍:0.1mΩ~1MΩ
電阻率測量范圍:100nΩ..cm~100KΩ .cm
測量環(huán)境:惰性氣氛、還原氣氛、真空氣氛
測量方法:四線電阻法,探針法
測試通道:單通道或是雙通道
樣品尺寸:10mmx10mmX20mm或φ<20mm ,d<5mm
電極材料:鉑銥合金電極(耐高溫,抗氧化)
絕緣材料:99氧化鋁陶瓷
數(shù)據(jù)存儲格式:自動分析數(shù)據(jù),可以分類保存,樣品和測量方案結(jié)合在一起,生成系統(tǒng)所需的實(shí)驗(yàn)方案,輸出TXT、XLS、BMP等格式文件
數(shù)據(jù)傳輸:USB
符合標(biāo)準(zhǔn):ASTM
供電:220V±10%,50Hz
工作溫度:5℃ 至 + 40 ℃;
工作濕度:+40 ℃ 時,相對濕度高達(dá) 95%(無冷凝)
設(shè)備尺寸: L360mm*W370mm*H510mm
重量:22kg
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