技術指標:
應用領域:廣泛應用于表面分析、加速器技術、等離子體技術、電真空器件的制造及真空技術的各個領域。
產品說明:
F250/1500系列渦輪分子泵包括以下型號:
F250/1500 ——普通軸承水冷渦輪分子泵
F250/1500T ——陶瓷軸承水冷渦輪分子泵
F250/1500N ——耐腐蝕陶瓷軸承水冷渦輪分子泵
特點:
F250/1500普通型渦輪分子泵采用進口精密金屬球軸承支撐,冷卻方式為通水冷卻,轉子經過精密動平衡,運轉可靠、振動小;電機為鼠籠式三相電機;軸承潤滑采用滴油潤滑,這種潤滑方式決定了分子泵只能豎直安裝。
F250/1500T陶瓷軸承渦輪分子泵,區(qū)別于普通型的特點是軸承采用進口精密陶瓷球軸承支撐,陶瓷軸承的球體是采用一種特殊的復合材料,它較普通的金屬球體質量小,所以旋轉中離心力小、摩擦生熱少、磨損小,一般說來,陶瓷軸承的使用壽命是普通軸承的兩倍以上。
F250/1500N耐腐蝕渦輪分子泵,區(qū)別于普通型的特點是軸承采用耐腐蝕的陶瓷球軸承支撐,潤滑油采用高化學穩(wěn)定性的專用防腐油,軸系設計有保護氣路,工作時通入保護性氣體N2。該泵可用于腐蝕性氣氛工作環(huán)境如離子刻蝕、等離子體和半導體器件生產中。
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