設(shè)備主要以金屬源,有機(jī)源蒸發(fā)為主體,適用于實驗室制備金屬單質(zhì)、氧化物、介電質(zhì)、半導(dǎo)體膜、掃描電鏡制樣等,也可用作教學(xué)及生產(chǎn)線前期工藝試驗等,整套設(shè)備操作簡便,綜合功能多,擴(kuò)展空間大,適合及滿足大專院校的教學(xué)與科研工作。
蒸鍍系統(tǒng)由蒸鍍真空室腔體,金屬源鍍膜系統(tǒng),有機(jī)源鍍膜系統(tǒng),樣品臺系統(tǒng),真空泵機(jī)組,膜厚檢測系統(tǒng),設(shè)備機(jī)架和電控系統(tǒng)組成,真空室前門與手套箱對接,該設(shè)備采用了一體化的設(shè)計方案,使整套設(shè)備結(jié)構(gòu)緊湊、布局簡潔避免了實驗設(shè)備外觀凌亂的現(xiàn)象。
各部分的技術(shù)指標(biāo)如下:
1、蒸鍍真空室腔體
a) 蒸鍍真空室腔體均為USU304優(yōu)質(zhì)不銹鋼D形前后開門結(jié)構(gòu),真空室內(nèi)部尺寸D350*450mm(暫定),焊接前各個不銹鋼部件需進(jìn)行物理,化學(xué)式表面拋光,焊接后采用電解式拋光,真空室表面潔凈美觀,真空腔體前后門均配有DN100視窗,可對真空腔體內(nèi)部進(jìn)行實時監(jiān)控,并配有擋板以及防護(hù)玻璃,預(yù)防觀察窗污染;
b) 真空腔體底部安裝2套金屬源組件(含氣動擋板),5套有機(jī)源組件(含氣動擋板),1200L/S渦輪分子泵真空泵機(jī)組,2套烘烤照明系統(tǒng)以及3套水冷膜厚探頭等;
c) 頂部安裝多功能樣品臺一套,電動樣品托擋板,KF16氣動角閥(接通手套箱與真空室,通氣作用)以及其他輔助法蘭;
d) 左側(cè)安裝CF35氣動預(yù)抽角閥,KF16氣動放氣閥以及預(yù)留若干CF35法蘭;
e) 右側(cè)預(yù)留若干CF35法蘭;
f) 蒸鍍設(shè)備后側(cè)配有鉸鏈?zhǔn)椒介T,方便清洗真空腔體,真空室內(nèi)部調(diào)試,維修以及取放物品。
2、蒸鍍真空腔蒸發(fā)源:2套金屬蒸發(fā)源,5套有機(jī)蒸發(fā)源
a) 2套金屬蒸發(fā)源:配一臺1000W可控硅調(diào)壓電源,數(shù)字表顯示蒸發(fā)電源,電流調(diào)整精度0.1A(微調(diào)),通過2根銅電極連接,兩端可夾鎢、鉬和鉭舟,每個金屬蒸發(fā)源配有氣動擋板,以便隨時遮擋蒸發(fā)源;
b) 5套有機(jī)蒸發(fā)源:在源內(nèi)放置4CC石英舟,配日本導(dǎo)電牌SR93溫控表,精度±1℃,可以實現(xiàn)溫度或電流補(bǔ)償實現(xiàn)蒸鍍速率穩(wěn)定的功能,即能實現(xiàn)手動控制電流,配三臺溫控電源,有機(jī)源溫度為室溫—500度,每個有機(jī)蒸發(fā)源配有氣動擋板,以便隨時遮擋蒸發(fā)源;
c) 金屬采用陶瓷罩密封四周以及隔板分隔,有機(jī)源采用隔板分隔,避免交叉污染。
3、蒸鍍雙真空腔樣品臺系統(tǒng):
a) 蒸鍍真空腔體樣品臺具有可升降,可旋轉(zhuǎn),可水冷(配有熱電偶)功能;
b) 樣片托架,可安裝15*15mm樣片25片,附著掩膜板;
c) 樣片與蒸發(fā)源之間的間距為200-320mm,樣片轉(zhuǎn)速0~30轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào);
d) 樣品臺安裝電動樣品擋板;
4、真空泵機(jī)組:
a) 通過CF200高真空氣動插板閥將真空腔體和1200L/S渦輪分子泵對接,再通過KF40高真空電磁截止閥將分子泵與9L/S機(jī)械泵對接;
b) 真空腔體和9L/S機(jī)械泵之間需要通過CF35高真空氣動角閥連接,KF40高真空電磁截止閥和CF35高真空氣動角閥和9L/S機(jī)械泵之間都需軟管之間連接。
5、膜厚檢測系統(tǒng):
a) 采用SQC310C四通道英福康膜厚儀,膜厚儀擁有監(jiān)測膜厚速率以及累計膜厚的功能;
b) 其中2個探頭用于監(jiān)測一套金屬蒸發(fā)源和一套有機(jī)蒸發(fā)源,1個探頭用于監(jiān)測三套有機(jī)蒸發(fā)源;
6、設(shè)備機(jī)架:
設(shè)備支撐采用碳鋼40方管焊接而成獨(dú)立機(jī)架,表面噴塑,承重主體設(shè)備相關(guān)系統(tǒng),并且可以由萬向輪移動調(diào)整為主,通過地腳定位。
7、電控系統(tǒng)系統(tǒng):
電氣控制部分采用機(jī)架內(nèi)置;
a) 3臺有機(jī)源控制電源;
b) 1臺金屬源控制電源;
c) 蒸發(fā)源擋板控制電源;
d) SQC310C四通道英??的ず駜x一臺,可實現(xiàn)膜厚監(jiān)測;
e) 渦輪分子泵電源一臺、機(jī)械泵控制電源一臺以及真空測量計(一低一高)一臺;
f) 樣品臺以及其擋板控制電源一臺;
g) 真空腔體內(nèi)烘烤系統(tǒng)控制電源一臺;
h) PLC控制器(10寸彩色觸摸屏等);
i) 總控制電源以及其它輔助控制器。
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