小型PECVD管式爐系統(tǒng)——OTF-1200X-50S-PE （2019.12.23—科晶實驗室審核）

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備   3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/strong>   4、配件妥善保管提示

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 整套設備尺寸小巧；

? 可通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學計量；

? 可通過射頻電源的頻率來進行控制薄膜的應力。

? 溫度：1100℃（<>

? PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入電源：208- 240V AC，功率：1.2KW；

? 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命。

更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

? 采用TRP-12的雙旋真空泵；

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；

? 真空度可達10-2Torr。

? 四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）；

? 流量范圍:

? 電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；

? 氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管；

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。

? 尺寸：1500mm L′600mm W′1200mm H

? 凈重：75 kg 

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費，我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證

? 一年質(zhì)保期，終身維護（不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件）