● 雙溫區(qū)管式爐：兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)

● 加熱區(qū)長度：溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm

● 爐管材料：高純石英

● 爐管尺寸：外徑: 60 ×內(nèi)徑: 54×長: 760 mm

● 溫度曲線圖(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置在800℃時(shí)所測，僅供參考）（可點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）

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● 工作溫度：1200℃（<1hr)>

● 連續(xù)工作溫度：1100℃

● 控溫精度：+/-1℃

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配有不銹鋼密封法蘭，上面安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表

進(jìn)氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭，出氣端法蘭接口為KF25接口

法蘭密封圈采用水冷卻，使用時(shí)需要通入冷卻水，可在本公司選購循環(huán)水冷機(jī)

真空度：10E-2 torr（采用機(jī)械泵），10-E5 torr(采用分子泵)

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● 一根鎧裝熱電偶通過左端法蘭通入到爐管內(nèi)部，并與坩堝相連接(圖1)

● 通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動使坩堝移動，并和熱電偶和坩堝一起移動，實(shí)時(shí)監(jiān)測樣品的溫度

● 進(jìn)氣端法蘭轉(zhuǎn)輪式法蘭（圖2）

● 可同時(shí)在轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)中放入4個(gè)坩堝，可交替將放入4種材料的石英坩堝自動送入到石英管中（可在真空狀態(tài)或氣氛保護(hù)狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)作）

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● 通過一步進(jìn)電機(jī)控制坩堝移動的速度和位置

● 可控制坩堝最小移動位移為1mm

● 坩堝移動距離為200mm

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● 配有一數(shù)顯防腐型真空計(jì)

● 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí)，不需因測量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換

● 對于氣體的壓力檢測具有較高的精確度和重復(fù)性

● 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇型繉?，所以具有較好的抗腐蝕性

● 測量范圍：3.8x10-5 -1125 Torr

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● 此套設(shè)備中配有一2路混氣系統(tǒng)

● 輸出功率：18W

● 工作溫度：5-45℃

● 氣壓：3×106Pa

● 精度：±1%FS

● 質(zhì)量流量計(jì)量程：

● 1:0-100sccm

● 2:1-199sccm

● 可根據(jù)客戶要求選購1-5路供氣系統(tǒng)

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2400L×600W×1300mm H

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一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，密封圈和加熱元件）

● CE 認(rèn)證

● 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認(rèn)證

● 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國 TUV 認(rèn)證或 CAS 認(rèn)證

● 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

● 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全

● 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)

● 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

● 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃

● 對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）

● 此款管式爐具有多種用途

● 熱蒸發(fā)：把蒸發(fā)料放在坩堝里，通過移動坩堝來精確找到所需要的蒸發(fā)溫度

● HPCVD：和熱蒸發(fā)相似，可通入反應(yīng)氣體與蒸發(fā)的物料反應(yīng)后再沉積

● 可用于制作多層二維晶體