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TG2U型光刻機(jī)

產(chǎn)品二維碼
參  考  價:面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號:
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:其它工業(yè)爐
  • 所在地:北京市
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時間:2024-11-26 07:11:11
  • 瀏覽次數(shù):
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北京仝志偉業(yè)科技有限公司

其他

  • 經(jīng)營模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:373條
  • 所在地區(qū):
  • 注冊時間:2015-09-04
  • 最近登錄:2023-11-10
  • 聯(lián)系人:趙永先
產(chǎn)品簡介

型 號: TG2U 分 辨率: (mm) 加工定制: 是 放大倍率: 操作方式: 測量精度: μm 外形尺寸(長*寬*高): mm

詳情介紹
商品名稱】:TG2U型光刻機(jī)  
生產(chǎn)廠家】:同志科技
商品規(guī)格】:TG2U
 

商品簡介】:

產(chǎn)品特點(diǎn):
TG2U型光刻機(jī)是制造中,大規(guī)模集成電路,傳感器,表面波元件,磁泡,微波和CCD等器件的重要光刻設(shè)備。
歡迎您聯(lián)系我們獲得光刻機(jī)(TG2U型)的更多信息。

 

備  注】:

TG2U型光刻機(jī)主要技術(shù)參數(shù)見下表:


項目

參數(shù)

適用的掩模尺寸

a.100X100X2-3mm;b.75X75X2—3mm;c.63X63X2—3(選購);

適用的硅片尺寸

φ35—75mm

光刻圖形線條

3-4μm, 最細(xì)可達(dá)2μm

掩模與硅片之間的相對位移范圍

X/Y±2.5mm,(族轉(zhuǎn)) ±6°

承片臺(硅片)繞主軸旋轉(zhuǎn)

粗調(diào)360度,可微調(diào)

承片工作臺綜合移動范圍

X,Y合成φ75mm

承片臺的球座平面至掩模板面升降

0—7.5mm

曝光燈源

GCQ200W超高壓汞燈,曝光波長,300―436nm

曝光系統(tǒng)能量不低于

7mw

曝光系統(tǒng)的照度均勻度在φ75mm范圍內(nèi)

±5%

顯微鏡的照明波長

≈545nm

曝光時間控制范圍

0.1秒—99分

雙目顯微鏡的放大倍數(shù)

a.目鏡共二種:10X,16X;b.平視場物鏡共三種:6X,9X,15X;c.合成放大倍率:60X—240X;

真空接觸壓力

≥0.7kgf

裝箱尺寸

1000X850X980mm(2只)

裝箱重量

200kg

注:用戶有何特殊要求可協(xié)商。
注意:如果產(chǎn)品升級恕不另行通知,網(wǎng)站及資料會同步升級,并以實(shí)物為準(zhǔn)!


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