沈陽科晶 GSL-1100X-SPC-16C型 濺射蒸鍍膜儀
儀器概述：
GSL-1100X-SPC-16C 濺射蒸鍍膜儀配備了熱蒸發(fā)附件，具有濺射和蒸發(fā)兩種功能。不但可以用等離子濺射的方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或其他金屬單質(zhì)的薄膜。本機能夠滿足掃描電子顯微鏡樣品的制備和非導(dǎo)體材料實驗電極的制作，也可以用于材料研究中各種新材料性能的實驗。
主要技術(shù)特點：該機配備了熱蒸發(fā)附件，可以蒸發(fā)碳絲或者其他材料，如鋁、不銹鋼等材料，同時具有濺射和蒸發(fā)的功能。因此擴展了應(yīng)用范圍，特別適用于掃描電鏡樣品的制備。
主要技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號 | GSL-1100X-SPC-16C濺射蒸鍍膜儀 | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、靶：?50mm 2、樣品臺：?50mm 3、真空室：?160mm×110mm 4、真空度：4×10-1mbar-2×10-2mbar 5、電流：50mA 6、可設(shè)定最長時間：9999s 7、電壓：1600V DC可調(diào) 8、真空泵：4L兩級機械旋轉(zhuǎn)泵，極限真空2×10-2mbar | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
2 | 碳繩 | 1根 | |
3 | 鎢絲籃 | 2個 | |
4 | 熱蒸發(fā)附件 | 1套 | |
5 | 進氣針閥 | 1個 | |
6 | 保險絲 | 2個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、白金等各種靶材 | ||
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