沈陽(yáng)科晶 GSL-1100X-SPC-16-3型 等離子三靶濺射儀
儀器概述：
GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。本機(jī)特別之處是在一個(gè)真空室內(nèi)安裝了三個(gè)靶，旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。
主要技術(shù)特點(diǎn)：
1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。
2、通過(guò)調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得理想的鍍膜效果。
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。
4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。
5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。
6、已通過(guò)CE認(rèn)證。
主要技術(shù)參數(shù)：
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀 | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：不需要 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） 4、工作臺(tái)：尺寸600mm×600mm×00mm，承重50kg以上 5、通風(fēng)裝置：不需要 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、靶：?45mm 2、真空室：?160mm×120mm 3、真空度：≤4×10-2mbar 4、靶位：3個(gè) 5、電流：50mA 6、可設(shè)定最長(zhǎng)時(shí)間：900s 7、微型真空氣閥：連接?3mm軟管 8、電壓：1600V DC 9、機(jī)械泵：2L/s | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 金靶材 | 1個(gè) |
2 | 銅靶材 | 1個(gè) | |
3 | 鋁靶材 | 1個(gè) | |
4 | 進(jìn)氣針閥 | 1個(gè) | |
5 | 保險(xiǎn)絲 | 2個(gè) | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
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