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沈陽(yáng)科晶 GSL-1800X-ZF4型蒸發(fā)鍍膜儀

儀器概述：

GSL-1800X-ZF4 蒸發(fā)鍍膜儀是一款高真空的蒸發(fā)鍍膜儀，特別適合蒸鍍對(duì)氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機(jī)設(shè)有4個(gè)蒸鍍加熱舟，且每個(gè)蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實(shí)現(xiàn)對(duì)有機(jī)材料的蒸發(fā)鍍膜，可滿足發(fā)光器件及有機(jī)太陽(yáng)能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價(jià)較高的實(shí)驗(yàn)設(shè)備。

主要技術(shù)特點(diǎn)：

1、真空控制單元全部集合在一個(gè)控制盒內(nèi)。

2、采用獨(dú)立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔體設(shè)有1個(gè)KF40旁抽閥（直接與前級(jí)機(jī)械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個(gè)CF150閘板閥（直接與分子泵相連）、1個(gè)KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個(gè)CF35法蘭（1個(gè)安裝電離規(guī)，4個(gè)備用，便于,安裝其他設(shè)備）。

4、在腔體底部配有5個(gè)水冷電極，可支持4個(gè)蒸鍍加熱舟。

5、4個(gè)蒸鍍加熱舟上方配有獨(dú)立的可移動(dòng)擋板，有效地避免蒸發(fā)時(shí)相互污染。

6、樣品臺(tái)安裝在腔體的頂部。

7、腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測(cè)厚儀，精度為10?。

8、可使用循環(huán)水冷機(jī)。

主要技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品型號(hào)	GSL-1800X-ZF4蒸發(fā)鍍膜儀
安裝條件	本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水） 2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地 3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶?6mm雙卡套接頭）及減壓閥。 4、工作臺(tái)：落地式，占地面積2m2以上 5、通風(fēng)裝置：需要
技術(shù)參數(shù)	1、輸入：?jiǎn)蜗郃C220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵） 2、蒸發(fā)輸出：電壓AC0-8V連續(xù)可調(diào)，蒸發(fā)電流200A，蒸發(fā)功率<1.6KW 3、真空腔：?300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 4、腔門(mén)：?200mm 5、觀察窗：?95mm，采用專(zhuān)用密封圈密封 6、真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s 7、真空度：5.0×10-6torr（泵開(kāi)啟40min后） 8、極限真空度：5.0×10-7torr（加熱溫度為100℃-150℃） 9、漏率：5.0×10-7Pa/s 10、樣品臺(tái)：?140mm 11、蒸發(fā)舟與樣品臺(tái)間距：260mm 12、冷卻水需量：15L/min
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：650mm×1200mm×1600mm；重量：600kg