• 0.5u靈敏度
• 1立方英尺/分鐘(28.3 升/分鐘)流速
• 標(biāo)準(zhǔn)為2通道，最多可選4通道同時(shí)測(cè)量
• 符合JIS標(biāo)準(zhǔn)
• 小巧外觀
• 不銹鋼外殼
• 狀態(tài)指示燈
• RS-485 Modbus通信模式
• 面向設(shè)備監(jiān)測(cè)系統(tǒng)的界面
• 多種配置可供選擇
• 外置式真空源
• 值得信賴的設(shè)計(jì)

• 兩年質(zhì)量保證
• 空間有便于安裝
• 每點(diǎn)高性價(jià)比
• 完整的驗(yàn)證數(shù)據(jù)
• 提供持續(xù)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)
• 綜合安裝系統(tǒng)
• 技術(shù)服務(wù)支持
• 用戶低成本

• 潔凈室監(jiān)測(cè)
• 設(shè)備認(rèn)證
• 設(shè)備監(jiān)測(cè)
• SMIF 監(jiān)測(cè)和FIMS封裝
• 潔凈室凈衣區(qū)
• 潔凈室包裝區(qū)
• 半導(dǎo)體業(yè)
• 航天航空
• 硬盤制造業(yè)
• 醫(yī)藥包裝和制造

微徑大小

0.5-25.0um

通道大小

標(biāo)準(zhǔn): 0.5, 5.0μm; 
標(biāo)準(zhǔn): 0.5, 10.0μm
可選項(xiàng):  0.5, 1.0, 5.0, 10.0μm; 0.5, 5.0, 10.0, 25.0μm
除以上通道大小外另有其他可供選擇

計(jì)數(shù)效能

50% @ 0.5 µm; 99% for particles>0.75µm (per JIS)

流速

1.0立方英尺/分鐘(28. 3 行數(shù)/分鐘)

激光源

激光二極管

零計(jì)數(shù)度

<1計(jì)數(shù)/5分鐘(每JIS)

校準(zhǔn)

NIST跟蹤

真空要求

外置式真空度為>38.1厘米汞柱

通信模式

RS-485 Modbus

軟件支持

萊特浩斯星源潔凈微粒監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 或者用戶自己的監(jiān)控系統(tǒng)

濃度限制

500,000個(gè)/立方英尺@5%重疊損失

LED 指示器

電源,維修

外殼

不銹鋼

電源

24VDC

尺寸

1.7英寸(長(zhǎng))×4.2英寸(寬)×3英寸（高）[4.3 x 10.7 x7.6 cm]

重量

15.6盎司(0.44公斤)

操作

溫度50°F到104°F(10°Ｃ到４０°Ｃ)／濕度20%到95%無(wú)凝結(jié)

存儲(chǔ)

溫度14°F到122°F(-10°Ｃ到5０°Ｃ)／濕度98%無(wú)凝結(jié)

配件

隨機(jī)配件

CD操作手冊(cè)

備選項(xiàng)

等動(dòng)力采樣頭,采樣試管, 電纜線 , 凈化過(guò)濾器, 電源穩(wěn)壓器.等動(dòng)力采樣頭,采樣試管, 電纜線, 溫濕度計(jì), 8’ T/RH 探頭延長(zhǎng)電纜線.