HPC1100高壓控制器
產(chǎn)品概述 - 產(chǎn)品名稱:高壓控制器
- 產(chǎn)品型號(hào):HPC1100
- 品牌:LIGHTHOUSE美國萊特浩斯
- 采樣流量:28.3L/min
- 粒徑范圍:0.1μm 或更大
- 流速:1.0 CFM
- 輸出壓力:接近大氣壓
- 輸入壓力:30-150 psi
- 尺寸:14.22 x 19.30 x 26.21 cm
設(shè)計(jì)采用了新技術(shù), 在高壓氣體成分,HPC 1100允許LIGHTHOUSE 0.1μm的粒子計(jì)數(shù)器對(duì)高壓(30-150 psi)的惰性氣體系統(tǒng)提供工藝氣體污染的監(jiān)測能力。
HPC 1100的不銹鋼設(shè)計(jì)堅(jiān)固耐用,可靠,幾乎不需要日常維護(hù)和校準(zhǔn)。在正常操作過程中,惰性氣體可被回收采樣過程中使用100%的供氣。
產(chǎn)品特色 特征 | 優(yōu)點(diǎn) | 應(yīng)用 | - 可用于任何惰性氣體
- 輕松設(shè)置
- 安裝簡單
- 前置流計(jì)
- 直觀的用戶控制
- 安靜的操作
- 快速清除和清理
- VCR接頭內(nèi)部和外部
- 不銹鋼結(jié)構(gòu)
| - 在正常操作過程中的零氣體廢物
- 近常壓輸出
- 低噪聲
- 小尺寸
- 便于系統(tǒng)集成
- 2年保修的
- 較低的擁有成本
| - 工藝鑒定
- 半導(dǎo)體制程監(jiān)控
- 平板過程監(jiān)控
- 過程趨勢分析
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主要技術(shù)參數(shù)及性能: | 粒徑范圍 | 0.1μm 或更大 | 流速 | 1.0 CFM | 輸出壓力 | 接近大氣壓 | 輸入壓力 | 30-150 psi | 兼容氣體 | 氮,氬氣,氦氣 | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 材質(zhì) | 316L 不銹鋼 | 尺寸 | 5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm] | 重量 | 6 lbs (2.7 kg) | 隨機(jī)配件 | 采樣管; VCR密封件; 尼龍螺帽;套圈 | 可選件 | 備用采樣管; 14英寸不銹鋼過濾器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm) | |
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