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煙臺(tái)日特測(cè)量?jī)x器有限公司

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株式會(huì)社 富士金FUJIKIN FCS-P(壓力式流量計(jì))

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 品牌:
  • 產(chǎn)品類別:流量計(jì)
  • 所在地:煙臺(tái)市
  • 信息完整度:
  • 樣本:
  • 更新時(shí)間:2024-11-18 08:19:04
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煙臺(tái)日特測(cè)量?jī)x器有限公司

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  • 經(jīng)營(yíng)模式:其他
  • 商鋪產(chǎn)品:1691條
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  • 注冊(cè)時(shí)間:2016-05-20
  • 最近登錄:2023-11-14
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

FCS即流量控制系統(tǒng)(FlowControlSystem),是專為確立近年來半導(dǎo)體制程中,越來越受重視的蝕刻速率(ETCHRATE)或成膜速率的穩(wěn)定性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品

詳情介紹

FCS即流量控制系統(tǒng)(Flow Control System),是專為確立近年來半導(dǎo) 體制程中,


越來越受重視的蝕刻速率(ETCH RATE)或成膜速率的穩(wěn)定 性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品。


基本操作原理有別于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì), 這是一款經(jīng)由壓力控制,從而達(dá)到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。


FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動(dòng)或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素,提 供給客戶無限制且穩(wěn)定的流量控制。

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