FCS即流量控制系統(tǒng)(Flow Control System),是專為確立近年來半導(dǎo) 體制程中,
越來越受重視的蝕刻速率(ETCH RATE)或成膜速率的穩(wěn)定 性、再現(xiàn)性而開發(fā)出來的產(chǎn)品。
基本操作原理有別于傳統(tǒng)的質(zhì)量流量計(jì), 這是一款經(jīng)由壓力控制,從而達(dá)到高精度流量控制目標(biāo)的嶄新產(chǎn)品。
FCS 能克服氣體供應(yīng)系統(tǒng)所產(chǎn)生的壓力變動(dòng)或干擾等制程上不穩(wěn)定的因素,提 供給客戶無限制且穩(wěn)定的流量控制。
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