納米級(jí)高速大行程

XLS系列線性，是由超聲波驅(qū)動(dòng)，可提供不同行程的精確定位。由于采用超聲波馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，速度可達(dá)到200mm/s，并且該平臺(tái)適用于掃描，可提供恒定的掃描速度，速度不穩(wěn)定性低于2%。

該平臺(tái)采用超聲波馬達(dá)，對(duì)于這種馬達(dá)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)是通過(guò)接觸點(diǎn)的橢圓振蕩產(chǎn)生。如下圖所示。通過(guò)橢圓的振蕩推動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)生微小移動(dòng)，并通過(guò)高頻率產(chǎn)生的速度，并且沒有噪聲，電機(jī)在定位后可產(chǎn)生自鎖，由于馬達(dá)在橢圓振蕩的上端才會(huì)與平臺(tái)接觸，大大提高平臺(tái)的使用壽命通常在10-100km。

XLS系列平臺(tái)可提供不同的行程，行程范圍可達(dá)到92mm。為了適應(yīng)不同精度要求的應(yīng)用，平臺(tái)集成不同精度的，根據(jù)閉環(huán)系統(tǒng)中傳感器的精度可分為以下幾類線性平臺(tái)

1）集成-1250位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp1250nm，

2）集成-312位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp350nm

3) 集成-78位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp80nm

4) 集成-1位置傳感器的壓電馬達(dá)平臺(tái)-min setp25nm

此外，由于該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì)，可以組成多維位移平臺(tái)，例如：XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平臺(tái)。

主要特點(diǎn)：

l  大行程 （100mm）

l  高精度（25nm）

l  高速度（100mm/s）

l  支持?jǐn)嚯娮枣i

l  可在真空和非磁環(huán)境

主要應(yīng)用：

l  光電子學(xué)

l  掃描電子顯微鏡

l  半導(dǎo)體生產(chǎn)

l  醫(yī)學(xué)和材料科學(xué)

l  生命科學(xué)與生物技術(shù)學(xué)

l  顯微鏡和計(jì)量學(xué)