高精度角位移臺

角位移臺又稱為擺動滑臺、α軸擺動平臺等，是用在在小角度內(nèi)精確旋轉(zhuǎn)物體的平臺，它提供的不是線性運動而是繞著空間固定一點進行旋轉(zhuǎn)。

AU-SGO系列角位移臺由驅(qū)動，使用高精度交叉滾珠軸承，可提供的分辨率，并且行程可達到±5°，適用于微米或納米定位。該平臺可提供不同的旋轉(zhuǎn)半徑。主要包括以下產(chǎn)品。

此外可以將兩個合適半徑的平臺組合在一起組成歐拉角位移臺，此外還可以與線性平臺組合組成多維運動系統(tǒng)。 另外該平臺還可以用于不同的環(huán)境下，例如真空和超高真空環(huán)境。

應(yīng)用實例：

1、  具有六個自由度的定位系統(tǒng)（X;Y;Z;a;b;Z_θ）

角位移臺可以與我們的其它運動模塊組合組裝為多維運動系統(tǒng)，如下圖所示，與兩個線性平臺和升降臺組裝成XYZ平臺，在XYZ系統(tǒng)的頂部安裝了兩個測角儀SGO-60.5和SGO-77.5，以及一個SR-5014，由于外部尺寸和安裝孔匹配，三個旋轉(zhuǎn)階段具有相同的旋轉(zhuǎn)中心（由綠色球體表示）。

主要特點

l  高精度（0.03µrad）

l  可在真空和非磁環(huán)境