滾筒式機UNIA6 DT
滾筒式納米壓印機HoloPrint uniA6 DT是一種負擔得起的、便攜的、易于使用的桌面設備,用于實驗室尺度的納米壓印光刻工作。這款滾筒式納米壓印機是快速成型、測試和表征結構性能、光固化樹脂和印跡材料的設備。典型的應用范圍包括印刻、芯片實驗室、衍射光學元件和其他納米印刻結構。HoloPrint®uniA6 DT在其自身的保護環(huán)境中工作,因此,潔凈室所需的投資可以分配到其他地方。
滾筒式納米壓印機HoloPrint®uniA6 DT是由Stensborg公司的工程師開發(fā)的,與占行業(yè)主導地位的傳統(tǒng)納米壓印工具相比,它是一種體積更小、成本更有競爭力的輥-板壓印機。
由于有接觸區(qū),我們的輥到板零工藝利用可調(diào)的壓印力,以大限度地減少材料收縮,同時減少氣泡問題。我們的zuanli NIP工藝也降低了對基材一致性的需求,從而降低了成本,提高了成品率。
這款桌面式納米壓印機NIL不僅具有很好的性價比,而且呈現(xiàn)出很高的生產(chǎn)潛能。據(jù)測量這款納米壓印的的產(chǎn)量高達60片/晶圓每小時。
原型設計研發(fā)的理想設備
滾筒式納米壓印機HoloPrint uniA6 DT支持“快速失敗"哲學思想,這將加速您的開發(fā)過程周期。通過快速測試新設計,它允許開發(fā)周期的快速迭代,因此,它是原型設計的設備。它使您能夠試驗和測試許多壓印技術,正確類型的光固化樹脂,以及處理參數(shù),如壓力,速度,和光強度,以表征重要的參數(shù),然后規(guī)?;a(chǎn)。因此,通過更少的迭代,您將能夠在內(nèi)部構建原型,并節(jié)省時間和資源。
的光引擎
大約十年前,我們的光引擎采用了發(fā)光二極管,用于大批量生產(chǎn),以取代體積龐大的UV氣體放電管式光引擎。光引擎是HoloPrint uniA6 DT的重要組成部分,因為它提供高度聚焦的光子能量,通過在可光固化樹脂中產(chǎn)生化學反應,使樹脂從彈性狀態(tài)變?yōu)樗苄誀顟B(tài),從而在滾輪咬合中進行固化。我們?yōu)榈墓鈱W引擎設計申請了zuanli,使我們的HoloPrint uniA6 DT體積更小,成本更低。該壓印機包括zuanli的光學引擎,其中包括具有被動冷卻功能的長壽命395nm發(fā)光二極管(LED),以及可選的內(nèi)置水冷卻功能,以滿足極限曝光要求。
規(guī)格參數(shù)
zui大壓印尺寸:105x148mm (WxL),襯底厚度可達8mm
復制速度:每小時60次手動復制(速度可達6米/分鐘)
兩種輸出:輥到印版和輥到箔片操作
光學固化引擎:長壽命395nm LED,在6m/min時可達100mJ/cm2
設備尺寸和重量:670x380x320mm (LxWxH), 26kg
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