產(chǎn)品簡(jiǎn)介
這款射頻等離子體發(fā)生器是進(jìn)口射頻等離子體放大器,提供13.56MHz,120W的射頻等離子體發(fā)射,非常適合工業(yè),科研和醫(yī)學(xué)應(yīng)用
詳情介紹
這款射頻等離子體發(fā)生器是進(jìn)口射頻等離子體放大器,提供13.56MHz,120W的射頻等離子體發(fā)射,非常適合工業(yè),科研和醫(yī)學(xué)應(yīng)用??商峁┥漕l等離子發(fā)射功率有300W, 600W,1000W,1200W, 2400W.
射頻等離子體發(fā)生器規(guī)格參數(shù)
可與任何調(diào)諧器配合使用,但T&C的AIT-600調(diào)諧器系列(如左圖所示)的操作是優(yōu)化的
通過以下方式控制發(fā)電機(jī)和AIT-600調(diào)諧器
前面板或PC(GUI軟件)
接口:模擬/數(shù)字、RS-232、RS-422
數(shù)字顯示:正向/反射/負(fù)載功率,
內(nèi)部溫度、調(diào)諧器蓋位置
數(shù)據(jù)采集:功率測(cè)量和狀態(tài)
模擬接口監(jiān)控
操作:AGC功率均衡,低諧波
電平、脈沖操作、斜坡曲線
5.25英寸高x 8.75英寸寬x 15.00英寸長(zhǎng)
射頻等離子體發(fā)生器訂購(gòu)信息
訂購(gòu)代碼:AG 0113 (前部面板控制)
0113 (帶空白前面板的等離子體發(fā)生器模塊)
AG 0113 & AIT-600 Tuner (萬(wàn)全的 RF 系統(tǒng))
[Rear panel] RF Input / Blanking ports OR CEX In / Out ports
射頻等離子體發(fā)生器規(guī)格參數(shù)
操作等級(jí):C級(jí)
工作頻率:13.56MHz
頻率穩(wěn)定性:0.005%或更好
RF功率輸出:120W @50歐姆負(fù)載
EXT RF輸入驅(qū)動(dòng):0-3 dBm 操作
輸入驅(qū)動(dòng)源用于外部RF輸入:?jiǎn)蝹€(gè)或函數(shù)發(fā)生器,2Vp-p @50歐姆@模擬計(jì)算機(jī)輸入
CEX輸入:3Vp-p ~8Vp-p @13.56MHz
CEX輸出:3Vp-p ~8Vp-p @13.56MHz
內(nèi)部RF源: 晶體震蕩器@13.56MHz
輸入輸出阻抗:50Ohm
IN/OUT VSWR: 1.2: :1 max-input, 3:1 max-output
輸出VDWER保護(hù):50W反射功率保護(hù)極限(0.1ms 自動(dòng)限制)
諧波水平@100W:>=-50dBc
RF輸出穩(wěn)定性: 10:1 VSWR
動(dòng)態(tài)功率范圍:1-120W
脈沖工作:脈寬1ms~9995ms
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