高精度激光測振儀全面滿足日益苛刻的研發(fā)和品質(zhì)控制需要和對MEMS微機電系統(tǒng)的需求,通過在樣品上用邁克爾遜干涉儀的聚焦激光束進行光柵掃描來實現(xiàn)，對微量振動進行百萬像素微觀結(jié)構(gòu)振動成像,測量顯微圖像中每個像素的振動。
高精度激光測振儀配有壓電式樣品振動器和數(shù)字鎖定放大器,用于測量振動的振幅和相位，從中可以重建2.5MHz以下的彎曲模態(tài)bending modes。
高精度激光測振儀特色：
所用邁克爾遜干涉儀激光束同時用于記錄樣品的共焦反射圖像,該圖像本質(zhì)上與振動測量一致。因此，不需要額外的顯微鏡成像系統(tǒng)。
即使控制器和兼容UHV的掃描儀結(jié)構(gòu)非常緊湊,也可提供20毫米尺寸的掃描能力。
高精度激光測振儀系統(tǒng)組件：
包含干涉儀、函數(shù)發(fā)生器和鎖定放大器（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）
運動控制器：執(zhí)行XYZ定位器的閉環(huán)操作，并包含用于振動臺（33 cm x 28 cm x 7.5 cm）的功率放大器。
XYZ掃描儀（10 cm x 5.5 cm x 7.5 cm），用于光柵掃描樣品上的聚焦激光頭。
花崗巖板（20 cm x 15 cm x 4 cm），帶直徑2.5 cm的柱，用于安裝掃描儀
帶支架的振動臺
高精度激光測振儀規(guī)格參數(shù)
工作原理：邁克爾遜干涉儀，單模光纖耦合
測量激光：1550nmDFB激光二極管，穩(wěn)定（NIST可追蹤），功率輸出<1 mW（激光等級1）
激光光斑直徑：7µm（焦點處）
分辨率：單點測量為亞pm，成像模式為0.1nm。
成像模式：振幅和相位圖像可以使用所含軟件進行分析或?qū)С觥?/div>
單點模式：1Hz至2.5MHz的FFT頻譜，250萬點
數(shù)字鎖定放大器
頻率范圍：500 Hz-2.5 MHz
參考信號：可通過標準振動臺和輸出信號驅(qū)動定制執(zhí)行器。
時間常數(shù)：可從1微秒調(diào)節(jié)到0.5毫秒
動態(tài)存儲：>100分貝
光學顯微鏡：
工作原理：共焦激光掃描干涉儀測量激光
焦距調(diào)整：手動或自動，帶閉環(huán)壓電驅(qū)動
橫向分辨率：5µm
最小像素尺寸：1µm
圖像尺寸：20 x 20 mm
像素數(shù)：1000 x 1000
掃描系統(tǒng)：
掃描系統(tǒng)：
工作原理：三軸線性壓電驅(qū)動，閉環(huán)
分辨率：1nm
重復精度：30nm
行程：20 mm（其他根據(jù)要求定制）
尺寸
尺寸
控制器：每個33.0 x 27.0 x 7.0 cm（W x L x H）2個
掃描儀安裝：花崗巖石材15.0 x 20.0 x 4.0 cm（W x L x H），不銹鋼柱2.5 x 15.0 cm（ L x H）
掃描臺：5.5 x 11.0 x 7.5厘米（W x L x H）
振動臺：不銹鋼8.0 x 1.5 cm（ L x H）
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