派克 316L 不銹鋼金屬墊片面密封接頭用于超高純半導(dǎo)體行業(yè)。裝配時(shí)，環(huán)形面在真空或正壓環(huán)境形成嚴(yán)密的金屬對金屬連接。
派克金屬面密封接頭用于需要超高純環(huán)境的關(guān)鍵應(yīng)用。配套墊片和環(huán)形設(shè)計(jì)為真空到正壓穩(wěn)定服務(wù)提供高完整性金屬對金屬密封。標(biāo)準(zhǔn)處理金屬面密封接頭平均內(nèi)表面粗糙度為10 ?in.(0.25?m) Ra。PE處理接頭平均內(nèi)表面粗糙度為5 ?in.(0.13?m) Ra ，UHP超高純接液面環(huán)境.
派克使用 TorqTite™ 墊，初始接觸內(nèi)錐，徑向擠出截留污染物，平穩(wěn)的內(nèi)徑過度，大限度減少了受壓區(qū)域.
UHP超高純金屬面密封接頭產(chǎn)品線使派克可以用有競爭力的價(jià)格點(diǎn)在晶圓廠競爭，并補(bǔ)充派克目前VacuSeal和迷你焊接產(chǎn)品線，其穩(wěn)健設(shè)計(jì)適用于半導(dǎo)體工具的關(guān)鍵應(yīng)用.
市場:
? 半導(dǎo)體制造
特點(diǎn)/優(yōu)勢:
? 緊湊式設(shè)計(jì)允許系統(tǒng)小型化和緊密間距
? 材料可追溯性通過每個接液部件上標(biāo)記的熱代碼查詢
? 產(chǎn)品設(shè)計(jì)適用時(shí)識別制造商、材料和內(nèi)部處理
? 增強(qiáng)的內(nèi)螺母鍍銀促進(jìn)連續(xù)的方便組裝
? 控制的接液面通過減少漏氣和抑制腐蝕，符合嚴(yán)格的超高純度系統(tǒng)要求
? Torqtite™ 墊片促進(jìn)損壞環(huán)的密封，有效降低了由于震動或熱循環(huán)引起的裝配松動
應(yīng)用:
? 工具掛鉤
? 閥組箱
? 氣體柜
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