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熱解碳化硼生長(zhǎng)爐

產(chǎn)品二維碼
參  考  價(jià):面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 產(chǎn)品型號(hào)：
  • 品牌：
  • 產(chǎn)品類別：其它
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  • 更新時(shí)間：2025-03-08 21:36:36
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

熱解碳化硼生長(zhǎng)爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域，如OLED坩堝、PBN板材/環(huán)舟、VGF坩堝、LEC坩堝等的制備

詳情介紹

熱解碳化硼生長(zhǎng)爐技術(shù)特征

采用的控制技術(shù)，能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)??；

全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；

多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；

多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；

可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率低；

適于工藝氣氛：真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3。

熱解碳化硼生長(zhǎng)爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號(hào)VCVD-0305-BNVCVD-0608-BNVCVD-0612-BNVCVD-0812-BNVCVD-1120-BNVCVD-1218-BNVCVD-1315-BNVCVD-1520-BN
工作區(qū)尺寸 φ×H（mm）300×500600×800600×1200800×12001100×20001200×18001300×15001500×2000
溫度（℃）20002000200020002000200020002000
溫度均勻性（℃）±5±7.5/±10±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度（Pa）1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率（Pa/h）0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

熱解碳化硼生長(zhǎng)爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式：立式-上出料/下出料

爐門(mén)鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)

爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC

熱電偶：C分度號(hào)

紅外儀：?jiǎn)伪壬?雙比色

真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

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