無塵高溫箱,無塵烘箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,無塵干燥箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱

Class 100 Clean Ovens

Lab Companion 無塵高溫箱系列工作溫度300°C。
客戶的標準樣品進入處理流程，均在符合 ISO14644-1 class5* 標準的環(huán)境中運行。所有污染微粒的來源密封。不銹鋼內(nèi)壁易清洗，光澤的白色環(huán)氧樹脂涂層外墻能防止微粒脫落的污染。
*Federal 209E Class100 標準在2001年已由ISO14644-1 class 5標準取代。

一．用途:
Lab Companion 無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二．特點：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
4.強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到*佳溫度控制精度。

三．產(chǎn)品技術參數(shù)：

1.主要技術指標：
無塵等級：Class 100;

溫度范圍： RT+20～ +200℃/+300℃；

溫度均勻度：200℃±4℃;

溫度波動度：±0.5℃（空載）

溫控精度：±0.1℃;

工作尺寸：216L ,324L,768L,無塵等級和尺寸可根據(jù)要求定制。

電源：380v , 50Hz，

網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))