高壓分析儀 HPA 220

德國普發(fā)真空pfeiffer vacuum殘余氣體分析儀HPA 220, 1-200 amu

在壓力范圍高達 50 hPa 下的氣體分析

高壓分析儀 HPA 220 是一個模塊化、靈活實用的質譜儀系統(tǒng)，它帶有一個干式渦輪分子泵組，可用于在壓力高達 50 hPa 的真空中進行氣體分析。

根據 HPA 220 的用途，有五種不同電動氣動以及手動操作的進氣口閥可供選擇。

高壓分析儀——在 1-200amu 范圍內的氣體分析

HPA 220，用于壓力Z高 8 hPa 的操作壓力，HPI 040 H，手動操作 (PT M52 110)
HPA 220，用于壓力Z高 8 hPa 的操作壓力，HPI 040 P，電動氣動驅動 (PT M52 120)
HPA 220，用于壓力Z高 1 hPa 的操作壓力，雙閘閥，手動操作 (PT M52 130)
HPA 220，用于壓力Z高 1 hPa 的操作壓力，雙閘閥，電動氣動驅動 (PT M52 140)
HPA 220，用于壓力Z高 50 hPa 的操作壓力，UDV 040，手動操作 (PT M52 150)

HPA 220，高壓分析儀，測量范圍 1-200 amu、115-230 V、50/60 Hz，適用于壓力范圍 0.5 hPa > p > 1 · 10-7 hPa 內的工藝及殘余氣體分析，組成：
帶四極電子裝置 QME 220 的 PrismaPlus，帶開放式離子源和兩根銥長絲、氧化釔涂層的四極分析儀 QMA 200 M
雙閘閥，手動操作，連接法蘭 DN 40 CF-F，帶 0.1 mm 交換式隔板的滑閥
帶電源件 TPS 311 和用于外部訪問的遠程接口的系統(tǒng)控制系統(tǒng) BRU 220
帶 HiPace 80 和前級真空泵 MVP 020-3 DC 的渦輪分子泵設備
總壓測量管 PKR 251
電纜組，3 米
適用于 Windows 7, XP Professional （32 位）的 Quadera®軟件，用于參數化 PrismaPlus 系統(tǒng)，以及記錄、保存并說明測量數據

PT M52 130

623-Valve interface with orifices ? 0.1 mm und 0.3 mm	雙閘閥，手動操作
供應	115-230 V
分析儀	QMA 220
前級泵	MVP 020-3
壓縮空氣	5-7 bar
四極控制	QME 220 M
對 Ar 的靈敏度：C-SEM	200 A/hPa
對 Ar 的靈敏度：法拉第	3 · 10-4 A/hPa
探測器	C-SEM/Faraday
桿系統(tǒng)：材料	不銹鋼
桿系統(tǒng)：直徑	6 毫米
桿系統(tǒng)：長度	100 毫米
檢測極限：C-SEM (hPa)	1 · 10-14 百帕
檢測極限：Faraday (hPa)	1 · 10-11 百帕
渦輪泵	帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80
電纜長度	3 米
系統(tǒng)控制	BRU 200
質量范圍	1 – 200 u
軟件	Quadera®
過程壓力至	1 百帕
連接法蘭（入口）	DN 40 CF-F
重量：分析儀包括渦輪	15 千克
閥控制單元	VCU 220