高壓分析儀 HPA 220

德國普發(fā)真空pfeiffer vacuum高壓分析儀HPA 220, 1-100 amu

在壓力范圍高達(dá) 50 hPa 下的氣體分析

高壓分析儀 HPA 220 是一個(gè)模塊化、靈活實(shí)用的質(zhì)譜儀系統(tǒng)，它帶有一個(gè)干式渦輪分子泵組，可用于在壓力高達(dá) 50 hPa 的真空中進(jìn)行氣體分析。

根據(jù) HPA 220 的用途，有五種不同電動(dòng)氣動(dòng)以及手動(dòng)操作的進(jìn)氣口閥可供選擇。

由于其 5 種手動(dòng)、電動(dòng)氣動(dòng)操作的進(jìn)氣口選擇，使得它在壓力高達(dá) 50 hPa 壓下為分析、監(jiān)測和控制過程提供了很大的靈活性。
通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出，使系統(tǒng)集成方便而靈活。
多重操作允許多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)只用一臺(tái)電腦進(jìn)行數(shù)據(jù)評估。
緊湊的尺寸實(shí)現(xiàn)靈活的集成。

高壓分析儀——在 1-100 amu 范圍內(nèi)的氣體分析

靈活性高，用于工藝分析、工藝監(jiān)控、工藝檢查的 5 個(gè)手動(dòng)或電氣動(dòng)操作進(jìn)氣選項(xiàng)，Z高 50 hpa
由多樣化的數(shù)字和模擬輸入輸出所帶來的便捷靈活的系統(tǒng)集成
多樣化運(yùn)行方式實(shí)現(xiàn)了通過一臺(tái) PC 即可進(jìn)行多個(gè)質(zhì)譜儀系統(tǒng)的數(shù)據(jù)分析
適用于靈活性集成的緊湊尺寸

HPA 220，用于壓力Z高 8 hPa 的操作壓力，HPI 040 H，手動(dòng)操作 (PT M51 110)
HPA 220，用于壓力Z高 8 hPa 的操作壓力，HPI 040 P，電動(dòng)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng) (PT M51 120)
HPA 220，用于壓力Z高 1 hPa 的操作壓力，雙閘閥，手動(dòng)操作 (PT M51 130)
HPA 220，用于壓力Z高 1 hPa 的操作壓力，雙閘閥，電動(dòng)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng) (PT M51 140)
HPA 220，用于壓力Z高 50 hPa 的操作壓力，UDV 040，手動(dòng)操作 (PT M51 150)

HPA 220，高壓分析儀，測量范圍 1-100 amu、115-230 V、50/60 Hz，適用于壓力范圍 8 hPa > p > 1 · 10-7 hPa 內(nèi)的工藝及殘余氣體分析，組成：
帶四極電子裝置 QME 220 的 PrismaPlus，帶開放式離子源和兩根銥長絲、氧化釔涂層的四極分析儀 QMA 200 M
閥門界面 HPI 040 P，電氣動(dòng)操作，連接法蘭 DN 40 CF-F，帶用于釋放整個(gè)開口橫截面的波紋管閘閥以進(jìn)行高真空內(nèi)的泄漏查找和殘余氣體分析，帶用于將不同腔體壓力進(jìn)行壓力匹配的交換式隔板的兩個(gè)旁通閥，第三個(gè)隔板，0.03 mm，是提供的
閥控單元 VCU 220 和適用于 Quadera®的 HPA 閥門加載項(xiàng)
帶電源件 TPS 311 和用于外部訪問的遠(yuǎn)程接口的系統(tǒng)控制系統(tǒng) BRU 220
帶 HiPace 80 和前級(jí)真空泵 MVP 020-3 DC 的渦輪分子泵設(shè)備
總壓測量管 PKR 251
電纜組，3 米
適用于 Windows 7, XP Professional （32 位）的 Quadera®軟件，用于參數(shù)化 PrismaPlus 系統(tǒng)，以及記錄、保存并說明測量數(shù)據(jù)

PT M51 120

623-Valve interface with orifices ? 0.1 mm und 0.3 mm	HPI 040, 電氣動(dòng)
供應(yīng)	115-230 V
分析儀	QMA 220
前級(jí)泵	MVP 020-3
壓縮空氣	5-7 bar
四極控制	QME 220 M
對 Ar 的靈敏度：C-SEM	200 A/hPa
對 Ar 的靈敏度：法拉第	5 · 10-4 A/hPa
探測器	C-SEM/Faraday
桿系統(tǒng)：材料	不銹鋼
桿系統(tǒng)：直徑	6 毫米
桿系統(tǒng)：長度	100 毫米
檢測極限：C-SEM (hPa)	1 · 10-14 百帕
檢測極限：Faraday (hPa)	5 · 10-12 百帕
渦輪泵	帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80
電纜長度	3 米
系統(tǒng)控制	BRU 200
質(zhì)量范圍	1 – 100 u
軟件	Quadera®
過程壓力至	8 百帕
連接法蘭（入口）	DN 40 CF-F
重量：分析儀包括渦輪	15 千克
閥控制單元	VCU 220