高壓分析儀 HPA 220

德國普發(fā)真空pfeiffer vacuum高壓氣體分析儀HPA 220, 1-100 amu

高壓分析儀 HPA 220 是一個模塊化、靈活實用的質(zhì)譜儀系統(tǒng)，它帶有一個干式渦輪分子泵組，可用于在壓力高達(dá) 50 hPa 的真空中進(jìn)行氣體分析。

根據(jù) HPA 220 的用途，有五種不同電動氣動以及手動操作的進(jìn)氣口閥可供選擇。

高壓分析儀——在 1-100 amu 范圍內(nèi)的氣體分析

HPA 220，用于壓力Z高 8 hPa 的操作壓力，HPI 040 H，手動操作 (PT M51 110)
HPA 220，用于壓力Z高 8 hPa 的操作壓力，HPI 040 P，電動氣動驅(qū)動 (PT M51 120)
HPA 220，用于壓力Z高 1 hPa 的操作壓力，雙閘閥，手動操作 (PT M51 130)
HPA 220，用于壓力Z高 1 hPa 的操作壓力，雙閘閥，電動氣動驅(qū)動 (PT M51 140)
HPA 220，用于壓力Z高 50 hPa 的操作壓力，UDV 040，手動操作 (PT M51 150)

HPA 220，高壓分析儀，測量范圍 1-100 amu、115-230 V、50/60 Hz，適用于壓力范圍 8 hPa > p > 1 · 10-7 hPa 內(nèi)的工藝及殘余氣體分析，組成：
帶四極電子裝置 QME 220 的 PrismaPlus，帶開放式離子源和兩根銥長絲、氧化釔涂層的四極分析儀 QMA 200 M
閥門界面 HPI 040 H，手動操作，連接法蘭 DN 40 CF-F，帶用于釋放整個開口橫截面的波紋管閘閥以進(jìn)行高真空內(nèi)的泄漏查找和殘余氣體分析，帶用于將不同腔體壓力進(jìn)行壓力匹配的交換式隔板的兩個旁通閥，第三個隔板，0.03 mm，是提供的第三個隔板，0.03 mm，是提供的
帶電源件 TPS 311 和用于外部訪問的遠(yuǎn)程接口的系統(tǒng)控制系統(tǒng) BRU 220
帶 HiPace 80 和前級真空泵 MVP 020-3 DC 的渦輪分子泵設(shè)備
總壓測量管 PKR 251
電纜組，3 米
適用于 Windows 7, XP Professional （32 位）的 Quadera®軟件，用于參數(shù)化 PrismaPlus 系統(tǒng)，以及記錄、保存并說明測量數(shù)據(jù)

PT M51 110

623-Valve interface with orifices ? 0.1 mm und 0.3 mm	HPI 040, 手動
供應(yīng)	115-230 V
分析儀	QMA 220
前級泵	MVP 020-3
四極控制	QME 220 M
對 Ar 的靈敏度：C-SEM	200 A/hPa
對 Ar 的靈敏度：法拉第	3 · 10-4 A/hPa
探測器	C-SEM/Faraday
桿系統(tǒng)：材料	不銹鋼
桿系統(tǒng)：直徑	6 毫米
桿系統(tǒng)：長度	100 毫米
檢測極限：C-SEM (hPa)	1 · 10-14 百帕
檢測極限：Faraday (hPa)	1 · 10-11 百帕
渦輪泵	帶有 TC 110 RS 的 HiPace 80
電纜長度	3 米
系統(tǒng)控制	BRU 200
質(zhì)量范圍	1 – 200 u
軟件	Quadera®
過程壓力至	8 百帕
連接法蘭（入口）	DN 40 CF-F
重量：分析儀包括渦輪	15 千克