日本愛(ài)發(fā)科ULVAC油擴(kuò)散泵ULK系列維修保養(yǎng)

專為嚴(yán)重的背壓而設(shè)計(jì); 在壓力降到10-2 Pa (10-4 torr)時(shí)，性能非常穩(wěn)定; 使用軟管法蘭(ULK-04A和06A上的排氣法蘭除外); 泵可以很容易清洗(零件容易拆卸); 配備機(jī)械裝置，使操作液停止流向輔助泵。

油擴(kuò)散泵ULK系列    日本 ULVAC

      ULVAC公司的擴(kuò)散泵ULK系列不僅性能，而且運(yùn)行成本極低。

      【特征】

      專為嚴(yán)重的背壓而設(shè)計(jì)。

      在壓力降到10-2 Pa (10-4 torr)時(shí)，性能非常穩(wěn)定。

      使用軟管法蘭(ULK-04A和06A上的排氣法蘭除外)。

      泵可以很容易清洗(零件容易拆卸)。

      配備機(jī)械裝置，使操作液停止流向輔助泵。

      【規(guī)格】

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