日本愛發(fā)科ULVAC干真空泵LR/HR/UR系列

低溫泵：LR系列泵是為負(fù)載鎖定或PVD工藝設(shè)計(jì)的; ULVAC的鋁設(shè)計(jì)允許在整個(gè)泵體上的溫度分布非常均勻：HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設(shè)計(jì)的; ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合; 優(yōu)良的氦氣抽氣能力：罐裝電機(jī)，安全，維修方便; 電源故障保護(hù)：泵能承受高達(dá)1000毫秒的電源中斷; 優(yōu)異的耐腐蝕性能：內(nèi)部部件經(jīng)過特殊處理，表面硬度高，耐腐蝕性能好。這樣可以防止內(nèi)部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時(shí)發(fā)生磨損和腐蝕; 通訊功能：可輸出水泵數(shù)據(jù)，包括警告和警報(bào)。廣泛的泵控制是可用的; CE標(biāo)記可用：CE標(biāo)記可根據(jù)要求提供。

  ULVAC利用干泵內(nèi)部產(chǎn)生的熱量的方法使LR/HR/UR系列即使在Z嚴(yán)格的過程中也能發(fā)揮作用。ULVAC的設(shè)計(jì)工作重點(diǎn)是在所有泵的各個(gè)階段保持的溫度，使這個(gè)系列泵Z適合CVD和蝕刻應(yīng)用。

      ULVAC的生態(tài)沖擊可以被添加到LR泵中，以獲得高達(dá)70%的能量節(jié)省，可用于任何輕工藝包括抽氣或氮?dú)狻?/span>

      【特征】

      低溫泵：LR系列泵是為負(fù)載鎖定或PVD工藝設(shè)計(jì)的。

      ULVAC的鋁設(shè)計(jì)允許在整個(gè)泵體上的溫度分布非常均勻：HR曝氣泵是為CVD和蝕刻工藝設(shè)計(jì)的。

      ULVAC UR系列泵適用于需要加熱泵、加熱氣體管道和/或加熱排氣管的場合。

      優(yōu)良的氦氣抽氣能力：罐裝電機(jī)，安全，維修方便。

      電源故障保護(hù)：泵能承受高達(dá)1000毫秒的電源中斷。

      優(yōu)異的耐腐蝕性能：內(nèi)部部件經(jīng)過特殊處理，表面硬度高，耐腐蝕性能好。這樣可以防止內(nèi)部泵部件在暴露在腐蝕性氣體中時(shí)發(fā)生磨損和腐蝕。

      通訊功能：可輸出水泵數(shù)據(jù)，包括警告和警報(bào)。廣泛的泵控制是可用的。
      CE標(biāo)記可用：CE標(biāo)記可根據(jù)要求提供。

      【應(yīng)用】

      泵是專為CVD或干法蝕刻應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。

      泵是為PVD、蒸發(fā)或熱處理工藝而設(shè)計(jì)的。

      縮短LL室排氣時(shí)間(LR系列)

      泵用于處理產(chǎn)生粉末的過程氣體，如Si晶體生長爐等。

      渦輪分子泵和機(jī)械助推器泵

      【規(guī)格】

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