·全姿勢(shì)檢出器:利用長(zhǎng)探針桿臂以及新開發(fā)“one touch"式檢出器holder可自由進(jìn)入深穴、平面、傾斜面……等測(cè)定點(diǎn)。另有防止探針落差過大之保護(hù)機(jī)構(gòu)。
· R/Z軸自動(dòng)停止裝置:檢出器半徑方向或上下方向,利用伺服控制,可自動(dòng)找出測(cè)定位置,幾乎無需手動(dòng)微調(diào)整,操作性大幅上揚(yáng)。
·缺陷圖形:此方式,可從直線圖形上,任何位置直接之,使操作上更加方便,無需細(xì)微調(diào)整。
·可自動(dòng)切換內(nèi)外徑測(cè)量
·的多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng):
Kosaka的多孔質(zhì)靜壓空氣軸承系統(tǒng)工作臺(tái),由于特殊設(shè)計(jì),有以下特點(diǎn):
1.具高剛性高負(fù)荷能力,故對(duì)偏負(fù)荷以及外部震動(dòng)有強(qiáng)力之抑制能力。
2. 壓力分布性均勻、安定性的情況下,可得到高回轉(zhuǎn)精度。
3.空氣消耗量非常之少(為傳統(tǒng)的1/3),穩(wěn)定度高并可達(dá)經(jīng)濟(jì)之效果。
有以上三特點(diǎn),即是為了達(dá)到高精度,安定性之測(cè)量結(jié)果的堅(jiān)強(qiáng)保證。
·上下移動(dòng)軸的真直度、平行度精度保證:KOSAKA圓度儀可與回轉(zhuǎn)精度相結(jié)合,圓筒形狀最重要的精度,除了圓筒度外還可作真直度、平行度等測(cè)定。
·高性能自動(dòng)求心/傾斜、補(bǔ)償含載物臺(tái):求心與傾斜,乃采用獨(dú)立兩層結(jié)構(gòu),不會(huì)相互干擾。傾斜方式是于table面上50mm處為假想中心采用滑動(dòng)方式移動(dòng)。另外,較大偏心時(shí),利用高科技數(shù)位游標(biāo)尺模式來求心??v使高倍率時(shí),1um之自動(dòng)位置也可以達(dá)成此性能,將大幅提高作業(yè)之效率及精度。
·濾波器(filter):Kosaka 真圓度測(cè)定機(jī)有真直度系及真圓度系兩種(另區(qū)分2CR/GAUSSIAN)可適應(yīng)任何規(guī)范。
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