超純水的整個(gè)工藝流程是先經(jīng)過預(yù)處理，然后經(jīng)過RO反滲透系統(tǒng)，再使用離子交換混床或者EDI設(shè)備制取超純水。 由于超純水對(duì)水質(zhì)的BOD和TOC等物質(zhì)的含量要求比較高，所以一般會(huì)采取二級(jí)反滲透，后面的工藝比則采取離子交換混床或者EDI的技術(shù)。

　　離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質(zhì)溶液中進(jìn)行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備高純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當(dāng)原水通過離子交換柱時(shí)，水中的陽離子和水中的陰離子(HCO3-等離子)與交換柱中的陽樹脂的氫根離子和陰樹脂的氫氧根離子進(jìn)行交換，從而達(dá)到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質(zhì)達(dá)到更高的要求。

　　EDI作為制取超純水的設(shè)備，作為反滲透設(shè)備后的二次除鹽設(shè)備，可以制取出高達(dá)10-18.2MΩ.CM。EDI設(shè)備無需化學(xué)藥劑的再生，可以連續(xù)運(yùn)行。在具體的應(yīng)用中，僅調(diào)節(jié)EDI的運(yùn)行電流就可以改變其出水水質(zhì)。因此廣泛用于微電子工業(yè)，半導(dǎo)體工業(yè)，發(fā)電工業(yè)，制藥行業(yè)和實(shí)驗(yàn)室。也可以作為制藥蒸餾水、食物和飲料生產(chǎn)用水、發(fā)電廠的鍋爐的補(bǔ)給水，以及其它應(yīng)用超純水。