遠(yuǎn)程等離子清潔儀

用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統(tǒng)的遠(yuǎn)程等離子清潔儀。遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，控制器向遠(yuǎn)程離子源提供射頻能量。射頻電磁場(chǎng)能激發(fā)等離子體，分解輸入氣體而產(chǎn)生氧或氫的活性基，活性基會(huì)擴(kuò)散到下游的真空腔室，并與其中的污染物發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，反應(yīng)產(chǎn)物能輕易地被抽走。遠(yuǎn)程等離子清潔儀可同時(shí)清潔真空系統(tǒng)和樣品！

遠(yuǎn)程等離子清潔儀系列具有三種型號(hào)：

1）EM-KLEEN 一款智能設(shè)計(jì)、功能強(qiáng)大的下游式等離子清潔儀。

2）SEMI-KLEEN quartz是為滿足半導(dǎo)體行業(yè)的苛刻清潔要求而設(shè)計(jì)

的解決方案。

3）SEMI-KLEEN sapphire用于半導(dǎo)體行業(yè)的去污清潔，且支持耐

腐蝕性氣體等離子應(yīng)用。

儀器特點(diǎn)：

• 快速清潔被污染的SEM樣品。2-60秒氫等離子體清潔ALD樣品。

不需減速或關(guān)閉渦輪分子泵

• 低等離子偏壓設(shè)計(jì)減少離子濺射和顆粒生成。結(jié)合自有多級(jí)

氣體過濾技術(shù)，SEMI-KLEEN能夠滿足用戶的顆粒污染清除要求

• 可選藍(lán)寶石管腔體和耐腐蝕性氣體的流量控制器，以便支持CF4, NF3, NH3, HF, H2S等應(yīng)用

• 的等離子強(qiáng)度傳感器可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等離子狀態(tài)，用戶對(duì)等離子狀態(tài)一目了然

• 基于壓力傳感回饋控制的自動(dòng)電子流量控制器，無需手動(dòng)調(diào)節(jié)針閥

• 直觀的觸摸屏操作，可定義60條清洗程序方案

• 擁有智能安全操作模式和專家控制模式；SmartSchedule^TM定時(shí)裝置，通過檢測(cè)樣品裝載次數(shù)或時(shí)間間隔來定時(shí)清潔系統(tǒng)

• 低電磁干擾設(shè)計(jì)，安靜的待機(jī)模式

推薦應(yīng)用：

•  FE-SEM、FIB和TEM的原位樣品清潔

•  適用于半導(dǎo)體設(shè)備，如CD-SEM, EBR, EBI, EUVL等

•  高真空室清潔，去除碳?xì)浠衔锖头嘉廴疚?/font>