特點FEATURES

• 簡潔的桌上型，移動推車或控制臺架結(jié)構(gòu)
• Direct re-entrant流孔板，差式泵，以達到宜的靈敏度
• 連續(xù)取樣從10-4mbar至1mbar.
• 高靈敏度（可至5ppb），質(zhì)量數(shù)可選至1000amu
• 軟離子化技術(shù)，分析復雜有機物，或表觀MS研究
• 穩(wěn)定性好(24h之上，峰高變化小于±0.5%)
• MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進行多個系統(tǒng)控制
• 氣動閥自動控制；出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時可啟用手動隔離裝置
• 自動、同時數(shù)據(jù)取得、分析，實時顯示、報警

應用APPLICATIONS

• CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
• 真空涂覆/ 等離子刻蝕
• 沉積濺射
• 污染物研究
• 基本壓力辨別
• 泄漏探測/ 實質(zhì)泄漏/脫附分析
• 除氣/烘烤/泵效能
• 反應室/過程氣體污染物

規(guī)格參數(shù)SPECIFICATION

HPR-30真空過程氣體分析系統(tǒng)(Process Gas Analyser)，適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空工藝過程中的氣體組成及變化。