產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

PHI Quantera II 掃描X射線光電子能譜儀（XPS）是Ulvac-Phi公司以在業(yè)界獲得非常成績

Quantum 2000和Quantera SXM之上延申后所研發(fā)的XPS分析儀器，其革命性超卓技術(shù)包括有：一個微集中掃描的X射線來源，的雙光束的電荷中和技術(shù)，在極低電壓下仍可保持高性能的離子束源以進行XPS的深度分析，一個五軸精密的樣品臺和負責(zé)全自動樣品傳送的機械手臂，與及一個自動化且可支持互聯(lián)網(wǎng)遠程控制的儀器操作平臺。Quantera II 掃描X射線光電子能譜儀（XPS）增加了這些革命性的技術(shù)性能和生產(chǎn)力，再一次提供了性能的XPS系統(tǒng)，以滿足您當前和未來的XPS需要。

特點FEATURES

• 容易使用：無論您是在分析一個薄膜樣品、有機聚合物、一個大的塑料鏡片，不銹鋼刀片又或是焊錫球;所有的儀器設(shè)置和設(shè)定都是相同的。用者只需用鼠標點在一個光學(xué)圖像單擊選擇一個或多個分析地區(qū)，加上雙光束中和系統(tǒng)和自動Z-軸高度調(diào)整功能，就可以透過儀器軟件的自動隊列執(zhí)行所有分析。整個操作流程不需要任何的設(shè)定調(diào)整，不用因不一樣樣品成份而有任何顧慮，甚至也不需要有操作員整天待在儀器旁邊；一切的操作都可以自動的完成。
• 薄膜分析：Quantera II 不僅提供了無機薄膜樣本良好的深度剖面分析性能，而且也可以在利用C60離子槍對有機薄膜得出非常的深度分析結(jié)果。
• 掃描 掃描X射線光電子能譜儀（XPS）：PHI使用了的聚焦掃描X射線源，使XPS微區(qū)分析變得更高效。如圖4所示，X射線源是經(jīng)由聚焦電子光柵掃描并撞擊在鋁陽極上所產(chǎn)生的，而此產(chǎn)生的聚焦鋁X射線會再透過橢球形狀的單色器反射在樣品表面上。當電子束掃描在鋁陽極上時，所產(chǎn)生的X射線束在樣品上也會作出同步的掃描。X射線束的直徑大小可調(diào)范圍為7.5微米以下到400微米以上。
• 微區(qū)光譜：在光學(xué)顯微鏡，在這透明的聚合物薄膜表面上是沒有發(fā)現(xiàn)任何污染物的。但是如以下圖５中所示，使用二次電子影像時就立即顯示了在聚合物表面上的化污染物的存在。在短短幾分鐘內(nèi)，Quantera II儀器就可以利用一個直徑為20微米的X射線束得到確定的氟碳污染物。

特點FEATURES

• X射線探針≤7.5微米的空間分辨率
• 高靈敏度的靜電檢測光學(xué)系統(tǒng)
• 雙射束中和系統(tǒng)
• 自動化的樣品傳輸處理
• 儀器可容納樣品直徑為100毫米和25毫米厚
• 兩個的內(nèi)部樣品平臺暫停區(qū)
• 高性能的離子槍
• 高速的深度分析
• 元素態(tài)或化學(xué)狀的XPS成像
• 自動角分辨分析
• PHI MultiPak數(shù)據(jù)處理軟件

可選配件OPTIONAL ACCESSORIES

• 樣品定位系統(tǒng) (SPS)
• 熱/冷樣品臺
• 冷樣品引入裝置
• 樣品傳輸室和外部測試站
• C6離子槍
• Ar25 GCIB離子

應(yīng)用APPLICATIONS

• 化學(xué)：化學(xué)涂料，聚合物，催化劑。
• 材質(zhì)：金屬，薄膜，納米材料。
• 電子：半導(dǎo)體，磁盤，微電子技術(shù)和顯示技術(shù)。
• 生物醫(yī)學(xué)與生物醫(yī)學(xué)設(shè)備。