基板搬運(yùn)機(jī)器人
凈機(jī)器人機(jī)械結(jié)構(gòu)結(jié)合生產(chǎn)工藝的特點(diǎn),主要分為兩大系列,既垂直多關(guān)節(jié)搬運(yùn)潔凈機(jī)器人系列和水平多關(guān)節(jié)搬運(yùn)潔凈機(jī)器人系列。垂直多關(guān)節(jié)搬運(yùn)潔凈機(jī)器人進(jìn)行全姿態(tài)動(dòng)作運(yùn)動(dòng);水平多關(guān)節(jié)搬運(yùn)潔凈機(jī)器人是水平直線及回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)型機(jī)器人,高速度高精度,動(dòng)作快捷準(zhǔn)確。
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