產(chǎn)品介紹
極紫外光(EUV)阿秒多層反射鏡設(shè)計(jì)用于阿秒脈沖的轉(zhuǎn)向、聚焦和整形。他們的多層膜中心位于65eV（19nm），帶寬為6eV（1.8nm），為 S 偏振光提供38%的峰值反射率。這些反射鏡支持持續(xù)時(shí)間為330阿秒的極紫外（EUV）脈沖。 UFI極紫外（EUV）阿秒反射鏡是基于高次諧波（HHG）、自由電子激光器（FEL）或其他量子光學(xué)應(yīng)用產(chǎn)生和整形阿秒脈沖的理想選擇。可提供直徑為25.4mm的平面反射鏡和凹面反射鏡；如果您的應(yīng)用需要定制中心能量、帶寬或其他規(guī)格的極紫外（EUV）多層反射鏡，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
性能特點(diǎn)
- 設(shè)計(jì)用于65eV（19nm）下的 330 阿秒脈沖
- 具有38%峰值反射率的多層鍍膜
- ≤1Å 表面粗糙度超拋光基底
- 另外提供專為5nm 設(shè)計(jì)的極紫外（EUV）平面反射鏡 和 極紫外（EUV）球面反射鏡
技術(shù)參數(shù)
直徑 (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(Corning 7980)
表面質(zhì)量:10-5 (基質(zhì))
涂層規(guī)格:Rs > 38% @ 65eV/19nm
涂層: 多層EUV (19nm)
入射角 (°):5
有效孔徑 (%):80設(shè)計(jì)波長(zhǎng) DWL (nm):19
邊緣: 精細(xì)研磨
表面粗糙度（埃）:<1
中心能源(eV):65 ±2
帶寬 (eV):6
支持的脈沖持續(xù)時(shí)間:330阿秒
邊緣厚度 ET (mm):6.35 ±0.20
有效焦距 EFL (mm):500.00
半徑 R1 (mm):1000.00
產(chǎn)品參數(shù)
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