程控厭氧潔凈烘箱是一臺(tái)針對(duì)集成電路封裝生產(chǎn)線(xiàn)芯片上芯固化時(shí)存在的污染、發(fā)黃、氧化、分層等問(wèn)題而研制的烘箱，通過(guò)強(qiáng)制排風(fēng)，帶走烘烤揮發(fā)物，將各種動(dòng)作、邏輯關(guān)系、相關(guān)保護(hù)、參數(shù)設(shè)定、數(shù)據(jù)通信程序化，操作員只是簡(jiǎn)單的操作即可完成整個(gè)工藝段的烘烤，提高了烘烤工藝的可控性，增加了烘烤溫度曲線(xiàn)對(duì)應(yīng)產(chǎn)品序號(hào)的可追溯性。
程控厭氧潔凈烘箱規(guī)格書(shū)
| 項(xiàng)目 | HTM-2352 | HTM-2381 | |
| 工作腔體 | 工作腔數(shù)量 | 1個(gè) | 2個(gè) |
| 工作腔尺寸（寬×深×高，mm） | 690×680×930 | 660×660×550 | |
| 總工作層數(shù) | 4層 | 3+3=6層 | |
| 每層放置料盒數(shù)量 | 8個(gè)（料盒尺寸280×110×125） | 6個(gè)（料盒尺寸280×110×125） | |
| 合計(jì)放置料盒數(shù)量 | 32個(gè) | 36個(gè) | |
| 溫度特性 | 空載平均升溫速度 | 7.25℃/min | 8℃/min |
| 空載平均降溫速度（200℃-80℃） | 2.5℃/min | 3.7℃/min | |
| 溫度均勻性（空載恒溫20分鐘） | ±2℃ | ||
| 溫度均勻性（滿(mǎn)載恒溫20分鐘） | ±5℃ | ||
| 保溫及密封性能 | ＞18H | ||
| 保溫及密封性能 | ＜（室溫+25）℃ | ||
| 工藝特性 | 固化工藝 | 直排風(fēng)烘烤+循環(huán)風(fēng)烘烤 | |
| 排風(fēng)方式 | 主動(dòng)排風(fēng) | ||
| 排風(fēng)量調(diào)節(jié)開(kāi)關(guān)間歇 | 5S:XS，（X可編程設(shè)置） | ||
| 降溫方式 | 水冷/風(fēng)冷 | ||
| 氮?dú)饬髁?/p> | 80-120L/min | ||
| 氧氣含量（通氮15min后） | ＜5000PPM | ||
| 氧含量分析儀 | 選配 | ||
| 安全特性 | 抗氧化安全 | 氮?dú)饬髁孔詣?dòng)監(jiān)控（選配氧氣含量自動(dòng)監(jiān)控） | |
| 抗污染安全 | 主動(dòng)排風(fēng)、電機(jī)故障監(jiān)控、排風(fēng)閥狀態(tài)監(jiān)控 | ||
| 超溫保護(hù)1 | 5點(diǎn)溫度傳感器檢測(cè)保護(hù) | ||
| 超溫保護(hù)2 | 數(shù)字超溫保護(hù)模組 | ||
| 超溫保護(hù)3 | 機(jī)械式超溫保護(hù)模組 | ||
| 安全門(mén)鎖 | 自動(dòng)安全門(mén)鎖 | ||
| 斷電保護(hù) | 配備UPS，如果自動(dòng)運(yùn)行過(guò)程發(fā)生斷電，設(shè)備保持?jǐn)嚯娗皵?shù)據(jù)，強(qiáng)制通氮?dú)獗Ｗo(hù)，并報(bào)警。 | ||
| 信息化配置 | 烘烤參數(shù) | 多個(gè)參數(shù)預(yù)先設(shè)定、存儲(chǔ)，5段式工藝參數(shù) | |
| 烘烤參數(shù)調(diào)用 | 條碼掃描調(diào)用/人工選取調(diào)用 | ||
| 烘箱運(yùn)行數(shù)據(jù) | 實(shí)時(shí)顯示 | ||
| 溫度時(shí)間曲線(xiàn)記錄 | 自動(dòng)記錄、長(zhǎng)期保存 | ||
| 產(chǎn)品烘烤信息查詢(xún) | 可查詢(xún)，可輸出 | ||
| 操作、報(bào)警日志記錄 | 自動(dòng)記錄、長(zhǎng)期保存 | ||
| 部分操作界面 |
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| 烘箱設(shè)備管理平臺(tái)聯(lián)網(wǎng) | 選配 | ||
| 與MES系統(tǒng)聯(lián)網(wǎng) | 選配 | ||
| 設(shè)備動(dòng)力配置 | 外形尺寸（長(zhǎng)×寬×高，mm） | 1430×1050×1826 | 1360×1100×2000 |
| 開(kāi)門(mén)尺寸（長(zhǎng)×寬，mm） | 1430X2000 | 1360X1970 | |
| 空載重量 | 520KG | 550KG | |
| 電源 | AC380V、28A、18kw、50Hz | AC380V、32A、21kw、50Hz | |
| 冷卻循環(huán)水 | 5L/min、2bar、18℃、1/2內(nèi)螺紋接口 | ||
| 氮?dú)饬髁?/p> | 150L/min、2bar、99.99%、φ10mm快插 | ||
| 壓縮空氣 | 5L/min、5bar、φ10mm快插 | ||
| 排風(fēng) | 5m/s、1360L/min、φ76mm（可選后部或頂部排風(fēng)） | ||
| 熱量回收效率 | ＞40% | / | |
| 固態(tài)揮發(fā)物冷凝回收裝置 | 配置T型冷凝回收裝置 | ||
| 工藝及材質(zhì) | 控制系統(tǒng) | 工業(yè)控制計(jì)算機(jī) | 工業(yè)控制計(jì)算機(jī) |
| 烘箱內(nèi)膽材料 | 鏡面304不銹鋼 | ||
| 烘箱外殼材料及工藝 | 1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接 | ||
| 烘箱外殼處理工藝 | 高溫噴塑處理 | ||
| 烘箱保溫層材料 | 高密度壓縮成型片狀巖棉 | ||
| 設(shè)備外觀 |
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